1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: ECD Anlage für 300 mm Wafer - PR431566-2480-W k
Beschreibung: ECD Anlage für 300 mm Wafer
Kennung des Verfahrens: 95108971-3356-4b3c-87f9-17830a680145
Interne Kennung: PR431566-2480-W k
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: ECD Anlage für 300 mm Wafer - PR431566-2480-W k
Beschreibung: 1 pc of 300 mm Wafer Electro Plating (ECD) Platform with options: 5.5.1 Hardware Compatibility Options 5.5.2 Precision Drive Head Upgrade Option 5.5.3 Pre-Aligner Upgrade Option 5.5.4 Dry Ring Upgrade Option 5.5.5 Spin Rinse Dry Chamber Upgrade Option 5.5.6 Further Chamber Upgrade Options 5.5.7 Indium Plating Process for Wafer Level Packaging Applications: -5.2.10.1 General plating bath parameters -5.2.10.2 POR plating bath (wider range is better; (Inorganics & concentrations (g/L, ppm); Additive package & concentrations (mL/L) Plating Bath Temperature (°C): min, max, target; Electrolyte flow rate (L/min): min, max, target -5.2.10.3 WLP feature fill capability -5.2.10.4 Current set values -5.2.10.5 Current density -5.2.10.5 Plating steps -5.2.10.6 Film Thickness and Uniformity (100% open area, edge exclusion: 5 mm) -5.2.10.7 Sheet resistance (1000 nm Indium) -5.2.10.8 Wafer rotation (rpm): POR target, min, max -5.2.10.9 Paddle speed: POR target, min, max -5.2.10.10 Purity of plated Indium films -5.2.10.11 Film crystallinity Avg. grain size -5.2.10.12 Film crystallinity Preferred texture) -5.2.10.13 Film crystallinity Avg. Surface roughness (process of record) -5.2.10.14 Total POR process time per wafer 5.6.1 Additive Dosing System 5.6.2 Electrolyte Degassing System 5.6.3 DI Prewet Degassing System
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 13 Monate
5.1.4.
Verlängerung
Weitere Informationen zur Verlängerung: 5.5.1 Hardware Compatibility Options 5.5.2 Precision Drive Head Upgrade Option 5.5.3 Pre-Aligner Upgrade Option 5.5.4 Dry Ring Upgrade Option 5.5.5 Spin Rinse Dry Chamber Upgrade Option 5.5.6 Further Chamber Upgrade Options 5.5.7 Indium Plating Process for Wafer Level Packaging Applications: -5.2.10.1 General plating bath parameters -5.2.10.2 POR plating bath (wider range is better; (Inorganics & concentrations (g/L, ppm); Additive package & concentrations (mL/L) Plating Bath Temperature (°C): min, max, target; Electrolyte flow rate (L/min): min, max, target -5.2.10.3 WLP feature fill capability -5.2.10.4 Current set values -5.2.10.5 Current density -5.2.10.5 Plating steps -5.2.10.6 Film Thickness and Uniformity (100% open area, edge exclusion: 5 mm) -5.2.10.7 Sheet resistance (1000 nm Indium) -5.2.10.8 Wafer rotation (rpm): POR target, min, max -5.2.10.9 Paddle speed: POR target, min, max -5.2.10.10 Purity of plated Indium films -5.2.10.11 Film crystallinity Avg. grain size -5.2.10.12 Film crystallinity Preferred texture) -5.2.10.13 Film crystallinity Avg. Surface roughness (process of record) -5.2.10.14 Total POR process time per wafer 5.6.1 Additive Dosing System 5.6.2 Electrolyte Degassing System 5.6.3 DI Prewet Degassing System
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technical Description
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 40
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Delivery Time
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 20
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Price
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 40
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: VERGABEKAMMER
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
TED eSender: Beschaffungsamt des BMI
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Leiter der anbietenden Partei: Applied Materials GmbH
Angebot:
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Datum des Vertragsabschlusses: 16/02/2024
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Telefon: +49 8912050
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Federführendes Mitglied
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich Str.16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 22894990
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 8912050
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Applied Materials GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE811418579
Postanschrift: Buchenstr. 16b
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01097
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Telefon: +49 1743365208
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Leiter der anbietenden Partei
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
Der Gewinner ist auf einem geregelten Markt notiert
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: d20b636a-b42d-48e5-92d6-4a3faf612784 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 19/02/2024 13:36:03 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 106236-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 36/2024
Datum der Veröffentlichung: 20/02/2024