2023-OJS38-112070-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Postanschrift: Hansastraße 27c

Ort: München

NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 80686

Land: Deutschland

E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.2.

Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente - PR183309-2270-W

Referenznummer der Bekanntmachung: PR183309-2270-W

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7.

Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 0,01 EUR

II.2.

Beschreibung

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung: EMFT Hansastraße 27d 80686 München

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

1 Stück TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP) 9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP) 9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP) 9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP) 9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP) 9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP) 9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP) 9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP) 9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP) 9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung / Gewichtung: 30,00

Qualitätskriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 35,00

Preis - Gewichtung: 35,00

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP) 9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP) 9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP) 9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP) 9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP) 9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP) 9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP) 9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP) 9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP) 9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz: EFRE REACT

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Verhandlungsverfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 199-562663

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
08/02/2023

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Ramgraber GmbH

Postanschrift: Pappelstraße 2

Ort: Brunnthal-Hofolding

NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 85649

Land: Deutschland

E-Mail: info@ramgraber.de

Telefon: +49 8104648779

Fax: +49 81046487-79

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 0,01 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER

Postanschrift: Villemombler Straße 76

Ort: Bonn

Postleitzahl: 53123

Land: Deutschland

VI.4.4.

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Postanschrift: Hansastraße 27c

Ort: München

Postleitzahl: 80686

Land: Deutschland

E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de

Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
17/02/2023