117594-2026 - Wettbewerb
Deutschland – Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke – Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
OJ S 35/2026 19/02/2026
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
E-Mail: einkauf@iis.fraunhofer.de
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
Beschreibung: The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.
Kennung des Verfahrens: bd4dfee5-1838-40b4-a81a-06d8f79ef81c
Interne Kennung: PR1066197 (brueckne)
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage: 
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Korruption: 
Betrug: 
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: 
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: 
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: 
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: 
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: 
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: 
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: 
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: 
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: 
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: 
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: 
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: 
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: 
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: 
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: 
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: 
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: 
Zahlungsunfähigkeit: 
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: 
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: 
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
Beschreibung: The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.
Interne Kennung: 0001
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 01/12/2026
Enddatum der Laufzeit: 31/12/2026
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. *** ENGLISH *** Presentation of the company: Minimum information: - Year of foundation - Important milestones of the company - Number of employees - what is produced/what services are provided --> Please provide all information in text form, NO links or images.

Kriterium: Referenzen zu bestimmten Arbeiten
Beschreibung des Eignungskriteriums: Referenzen / References Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung), nicht älter als drei Jahre ***ACHTUNG***: Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen die Vergleichbarkeit der Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung. --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. *** ENGLISH *** Reference of at least 3 comparable projects, not older than three years (min. information: name of client, contact person incl. contact details). *** ATTENTION *** If for data protection reasons, you are not allowed to name your contact persons, please categorize your client (research, industry, other public contractors). --> Please provide all information in text form, NO links or images.

Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung des Eignungskriteriums: Umsatz der letzten 3 Jahre Turnover for the last 3 years Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle geforderten Geschäftsjahre anzugeben, so hat es dies begründet anzuzeigen. Soweit möglich ist ein geeigneter Nachweis zur Neugründung beizufügen. Die Zahlen zum Umsatz sind in diesem Fall ab dem Zeitpunkt der Gründung des Unternehmens anzugeben. --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. English: If a company that is new to the market is unable to provide figures for all the required financial years, it must provide a reasoned explanation. Where possible, suitable evidence of the new establishment must be enclosed. In this case, the turnover figures must be provided from the date of the company's establishment --> Please provide all information in text form, NO links or images.

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: 1_C_Eigenerklärung_Russland-Sanktionen_VO 833-2014_08.25 or 1_C_Self-declaration_Sanctions on Russia_VO 833-2014_08.25

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: 1_C_Selfdeclaration (123-124 GWB)
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens: 
Das Verfahren wird in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen durchgeführt. In jeder Phase können einige Teilnehmer ausgeschlossen werden
Der Erwerber behält sich das Recht vor, den Auftrag aufgrund der ursprünglichen Angebote ohne weitere Verhandlungen zu vergeben
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium: 
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualitätskriterium
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium: 
Art: Preis
Bezeichnung: Preiskriterium
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bd4dfee5-1838-40b4-a81a-06d8f79ef81c
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Verfahrensbedingungen: 
Voraussichtliches Datum der Absendung der Aufforderungen zur Angebotseinreichung: 30/03/2026
Bedingungen für die Einreichung: 
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bd4dfee5-1838-40b4-a81a-06d8f79ef81c
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 20/03/2026 12:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: 
Fehlende Bieterunterlagen können nicht nach Fristablauf nachgereicht werden.
Auftragsbedingungen: 
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: 
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: 
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: (1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Registrierungsnummer: 10342
Postanschrift: Am Wolfsmantel 33
Stadt: Erlangen
Postleitzahl: 91058
Land, Gliederung (NUTS): Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252)
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@iis.fraunhofer.de
Telefon: +49 91317762230
Internetadresse: https://www.deutsche-evergabe.de
Profil des Erwerbers: https://www.deutsche-evergabe.de
Rollen dieser Organisation: 
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Registrierungsnummer: ec638eed-3e8c-4f43-af01-aaa66f8e27ef
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 116
Stadt: 53113
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252)
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 22894990
Rollen dieser Organisation: 
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation: 
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: bd4dfee5-1838-40b4-a81a-06d8f79ef81c  -  01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 18/02/2026 11:39:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 117594-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 35/2026
Datum der Veröffentlichung: 19/02/2026