43/2024

1.1.

Beschaffer

Offizielle Bezeichnung: Universität Leipzig

E-Mail: vergabestelle@zv.uni-leipzig.de

Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts

Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2.1.

Verfahren

Titel: Lithographiesystem

Beschreibung: Der Leistungsgegenstand dieses Verfahrens ist ein Lithographiesystems zur direkten Erzeugung von Strukturen in Lacken, die auf Festkörperoberflächen aufgebracht sind, mit lateralen Abmessungen von 30 nm oder kleiner.

Kennung des Verfahrens: 27139943-d835-44c1-bb6a-eefead09c319

Interne Kennung: 32909-2023

Verfahrensart: Offenes Verfahren

2.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2.

Erfüllungsort

Stadt: Leipzig

Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)

Land: Deutschland

Ort im betreffenden Land

2.1.3.

Wert

Geschätzter Wert ohne MwSt.: 290 000,00 EUR

2.1.4.

Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXP4Y9SHCUR

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

vgv -

5.1.

Los: LOT-0001

Titel: Lithographiesystem

Beschreibung: Es soll Standardstrukturierungsverfahren wie lift-off oder Ätzen ermöglichen. Der Schreibvorgang soll ohne Verwendung von (hoch)energetischen geladenen Teilchen stattfinden. Das System soll den Schreibprozess simultan überwachen und gegebenenfalls Prozessparameter durch Rückkopplungsprozesse in-situ korrigieren, um eine bestmögliche Übertragung des gewünschten Musters zu gewährleisten. Das System soll in der Lage sein, unter dem Lack befindliche Strukturen (z.B. Nanodrähte) zu erkennen um gewünschte Muster auf diesen zu realisieren. Die während eines Strukturierungsvorganges beschreibbare Fläche soll mindestens 50?m x 50?m betragen. Zudem muss ein "field stitching" möglich sein, falls größere Flächen strukturiert werden müssen. Die Genauigkeit beim field stitching muss 50nm oder darunter sein. Weiter soll präzises stitchung ohne künstliche Markierungen (alignment marker) möglich sein. Das System soll in der Lage sein, beliebig geformte Muster zu erstellen und zu schreiben. Weiter soll das System über ein optisches Mikroskop verfügen. Das System soll mittels Graustufenlithografie die Erzeugung von 3D Strukturen erlauben. Alle Das Mess- und Schreibfunktionen des Gerätes sollen über ein Computersystem bedient und durchgeführt werden können. Die Software soll es ermöglichen, Strukturen direkt in ein optische bzw. topografische Aufnahme einzufügen und nach Wunsch auszurichten. Softwareupdates sollen für mindestens 24 Monate kontenlos zur Verfügung gestellt werden. Weiter verfügt das System es über eine CAD Software, um Belichtungsdaten zu erstellen und zu editieren als auch über eine Konvertierungssoftware, welche den Umgang mit verschiedenen Datenformaten wie beispielsweise gds oder bitmap gewährt.

Interne Kennung: 32909-2023

5.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2.

Erfüllungsort

Stadt: Leipzig

Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)

Land: Deutschland

Ort im betreffenden Land

5.1.6.

Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein

5.1.7.

Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.10.

Zuschlagskriterien

Kriterium:

Art: Qualität

Bezeichnung: Technischer Wert des Lithografiesystems