2021-OJS53-133044-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2

Postanschrift: Hansastraße 27 c

Ort: München

NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 80686

Land: Deutschland

Kontaktstelle(n): Einkauf IT, FM, Leasing, Beraterverträge

E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

E_079_236251 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching (PEALE) Anlage

Referenznummer der Bekanntmachung: E_079_236251

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching (PEALE) Anlage.

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2.

Beschreibung

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DED Sachsen

Hauptort der Ausführung: IISB Zentrales Reinraumlabor TU Bergakademie Freiberg Institut für Angewandte Physik Leipziger Straße 23 09599 Freiberg

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

1 Stück mit der Atomic Layer Etching Anlage (ALE) sollen sowohl monolagengenaue, selbstlimitierende, sequentielle, plasmaunterstützte Atomlagenabtragungen als auch schädigungsarmes physikalisch-chemisches Trockenätzen (ICP-RIE) zur Strukturierung von unterschiedlichsten Materialien durchgeführt werden. Durch das THM Freiberg soll im Zentralen Reinraumlabor (ZRL) der TU Freiberg eine ALE-Anlage mit induktiver Plasmaerzeugung (PEALE — plasma enhanced atomic layer etching) installiert werden. Der Anbau an ein Niedertemperatur-Beschichtungscluster soll gewährleistet sein. Zudem soll die Anlage über alle notwendigen Komponenten zur Durchführung von schädigungsarmen ICP-RIE-Ätzungen sowohl mit Fluorchemie als auch mit Chlor-basierten Prozessen verfügen. Wir wollen unsere Forschung im Bereich Atomlagenätzen im Speziellen von SiO2, High-k, Nitride und III-V Materialien mit einer ISO9001 zertifizierten, 150 mm fähigen PEALE erweitern. Es wird eine in-situ Prozess- und optional eine Endpunktkontrolle gefordert. Optionen: Laser-Interferometer, Emissionsspektrometer,Wartung nach der Gewährleistungszeit.

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

2.2.1 Laser-Interferometer,

2.2.2 Emissionsspektrometer,

2.6 Wartung nach der Gewährleistungszeit.

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 030-071870

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein

V.1.

Information über die Nichtvergabe
Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben

Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer

Postanschrift: Villemombler Straße 76

Ort: Bonn

Postleitzahl: 53123

Land: Deutschland

VI.4.4.

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.

Postanschrift: Hansastraße 27c

Ort: München

Postleitzahl: 80686

Land: Deutschland

E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de

Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
12/03/2021