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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Kennung des Verfahrens: 01c2ebe6-e1f2-43e7-8f7e-9b1d07fa0e0e
Interne Kennung: 237640
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38634000 Optische Mikroskope
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-4714
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Interne Kennung: 237640
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38634000 Optische Mikroskope
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 11/05/2026
Laufzeit: 48 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Rahmenvereinbarung ohne erneuten Aufruf zum Wettbewerb
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Berlin
6. Ergebnisse
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Ergänzung eines schon vorhandenen Gerätes: Der Auftraggeber betreibt eine hochspezialisierte Prozesslinie zur Elektronenstrahl-Lithografie, deren zentrales System eine hochauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage des Typs Raith EBPG 5200 ist. Zur Sicherstellung der erforderlichen Messgenauigkeit, Prozesssicherheit und Reproduzierbarkeit ist die Ergänzung dieser bestehenden Anlage um ein externes Präzisions-Alignment-Mikroskop vorgesehen. Das Alignment-Mikroskop muss vollständig in die bestehende Prozess- und Systemumgebung integriert werden und sowohl hardware- als auch softwareseitig mit der vorhandenen Anlage interoperabel sein. Die Integration umfasst insbesondere die Anbindung an bestehende Steuerungs-, Kalibrier- und Workflow-Strukturen sowie die Nutzung bestehender Prozess- und Ausrichtungsdaten. Eine Substitution der bestehenden Anlage oder eine aufwändige Anpassung der Prozesslinie ist ausgeschlossen. Aus objektiv nachvollziehbaren technischen Gründen kommt daher ausschließlich ein System in Betracht, das für den Betrieb mit der vorhandenen Elektronenstrahl-Lithografieanlage ausgelegt ist. Eine gleichwertige Lösung anderer Hersteller ist nicht verfügbar, ohne unverhältnismäßige technische Risiken, erhebliche Zusatzaufwände oder Einschränkungen der Funktionsfähigkeit der Gesamtanlage in Kauf zu nehmen. Die ausnahmsweise Nennung der bestehenden Anlage erfolgt somit aus technischen Gründen im Sinne des § 31 Abs. 6 VgV. Die Durchführung des Verhandlungsverfahrens ohne Teilnahmewettbewerb erfolgt auf Grundlage des § 14 Abs. 4 VgV. Zur Wahrung der Transparenz wird eine EU-weite ex-ante-Transparenzbekanntmachung veröffentlicht.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-4714
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Raith BV
Angebot:
Kennung des Angebots: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-4714
Wert des Angebots: 220 000,00 EUR
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Datum der Auswahl des Gewinners: 21/11/2025
8. Organisationen
8.1.
ORG-5585
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +49 30 63922600
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-3148
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Berlin
Registrierungsnummer: t:03090138316
Postanschrift: Martin-Luther-Str. 105
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +49 30 90138316
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-4518
Offizielle Bezeichnung: Raith BV
Registrierungsnummer: KVK Number: 33286867
Stadt: PS Best
Postleitzahl: 5684
Land, Gliederung (NUTS): Zuidoost-Noord-Brabant (NL414)
Land: Niederlande
Telefon: +49 231 95004 0
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-4714
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: c8185b4d-9472-4256-89a3-d776d19b179f - 01
Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe
Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Unterart der Bekanntmachung: 25
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 26/02/2026 14:51:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 138675-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 41/2026
Datum der Veröffentlichung: 27/02/2026