Röntgendiffraktometer

Leistungsbeschreibung

Ausgeschrieben ist ein Neugerät zur Messung von Röntgenstreuung, insbesondere aber nicht ausschließlich für Röntgenbeugung (XRD) und Röntgenreflektometrie (XRR) an dünnen, epitaktischen Schichten, um z. B. Gitterparameter und Schichtdicken zu bestimmen. Es ist ein komplettes System gesucht welches ein Strahlenschutzgehäuse entsprechend eines Vollschutzgerätes, ein präzises Vierkreis-Goniometer mit Eulerwiege und In-plane arm, eine Röntgenquelle inklusive Optiken für einen monochromatizierten und hoch intensiven Röntgenstrahl, eine Aufnahme für Proben von 1x1 mm2 bis hin zu Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm, eine zusätzliche Probenaufnahme für Messungen bei variabler Temperatur von -180 Grad C bis +200 Grad C, einen Leistungsstarken 2D Detektor für schnelle Probenjustage und schnelle reziproke Gitterkarten, zusätzliches Equipment zur flexiblen Einsatzfähigkeit, ein stabiles Computer- und Softwaresystem zur Gerätekontrolle, Datenaufnahme sowie Datenanalyse und Simulation umfasst. Ebenfalls muss die Installation und weitere Unterstützung gewährleistet sein. Das IHP behält sich vor, dass die technischen Anforderungen über Testmessungen nachgewiesen werden müssen.

Leistungsbeschreibung

Ausgeschrieben ist ein Neugerät zur Messung von Röntgenstreuung, insbesondere aber nicht ausschließlich für Röntgenbeugung (XRD) und Röntgenreflektometrie (XRR) an dünnen, epitaktischen Schichten, um z. B. Gitterparameter und Schichtdicken zu bestimmen. Es ist ein komplettes System gesucht welches ein Strahlenschutzgehäuse entsprechend eines Vollschutzgerätes, ein präzises Vierkreis-Goniometer mit Eulerwiege und In-plane arm, eine Röntgenquelle inklusive Optiken für einen monochromatizierten und hoch intensiven Röntgenstrahl, eine Aufnahme für Proben von 1x1 mm2 bis hin zu Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm, eine zusätzliche Probenaufnahme für Messungen bei variabler Temperatur von -180 Grad C bis +200 Grad C, einen Leistungsstarken 2D Detektor für schnelle Probenjustage und schnelle reziproke Gitterkarten, zusätzliches Equipment zur flexiblen Einsatzfähigkeit, ein stabiles Computer- und Softwaresystem zur Gerätekontrolle, Datenaufnahme sowie Datenanalyse und Simulation umfasst. Ebenfalls muss die Installation und weitere Unterstützung gewährleistet sein. Das IHP behält sich vor, dass die technischen Anforderungen über Testmessungen nachgewiesen werden müssen.