Kurze Beschreibung
Beide Anlagen sind von ihrer aktuellen Hardware und Software auf den neusten Upgrade Stand zu bringen. Alle Hersteller Richtlinien und Gewährleistungen sind einzuhalten. Alle anfallenden Reise- sowie Installationskosten sind im Preis einzubeziehen.
Funktionsnachweis und Abnahme erfolgt nach erfolgreicher Messung an vorhandenen Wafern nach Parametern der Herstellerfirma.
LOS 1: Upgrade für Partikelmessgerät
Hersteller: KLA-Tencor
Model: SP1-DLS
UTID: 2051220
Aktuelle Anlagensoftware: Surfscan SP1 mit der Mx-Version 4.20.7199
Aktuelle Windowsversion: XP 5.1, Build 2600, Service Pack 2
LOS 2: Upgrade für Profilometer
Hersteller: KLA-Tencor
Model: HRP-250
Seriennummer: 7020375
Aktuelle Anlagensoftware: Profiler v7.45
Aktuelle Windowsversion: XP, Version 2002, Service Pack 3