151702-2022 - ErgebnisDeutschland-Jena: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
OJ S 58/2022 23/03/2022
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien
Postanschrift: Albert-Einstein-Straße 9
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07745
Land: Deutschland
E-Mail: ipht-ausschreibungen@leibniz-ipht.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.leibniz-ipht.de
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: eingetragener Verein, Mitglied der Leibniz-Gemeinschaft
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Los 3 - Maskless Aligner
Referenznummer der Bekanntmachung: 08.21.O.03
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Die Ausschreibung "08.21.O.03 / Los 3 - Maskless Aligner" stellt Los 3 von 3 Ausschreibungen des Forschungsprojektes "Ausbau der photolithographischen Basisinfrastruktur am Leibniz-IPHT (InfraLith)" dar. Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die maskenlose Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind, daß bei moderater Strukturauflösung im Resist (1 - 2 µm) hohe Schreibgeschwindigkeiten und damit kurze Waferbelichtungszeiten zur Verfügung stehen (< 3 h für 4“ Wafer) und die Belichtung auf bis zu 12 mm dicken Substraten erfolgen kann.
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7.
Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 128 230,00 EUR
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
Die Ausschreibung "08.21.O.03 / Los 3 - Maskless Aligner" stellt Los 3 von 3 Ausschreibungen des Forschungsprojektes "Ausbau der photolithographischen Basisinfrastruktur am Leibniz-IPHT (InfraLith)" dar. Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die maskenlose Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind, daß bei moderater Strukturauflösung im Resist (1 - 2 µm) hohe Schreibgeschwindigkeiten und damit kurze Waferbelichtungszeiten zur Verfügung stehen (< 3 h für 4“ Wafer) und die Belichtung auf bis zu 12 mm dicken Substraten erfolgen kann.
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: technische Spezifikationen / Gewichtung: 60%
Preis - Gewichtung: 40%
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:
Nachfolgende Optionen sollen mit angeboten werden:
• Zeichnung-Mode (Einzeichnen bzw. importieren von Strukturen wie Linien und Rechtecke in das Kamerabild und diese belichten),
• Bildaufnahme, Breitenmessung und Wafermapping,
• Übersichtsaufnahme größerer Flächen (ca. 10 x 10 mm²),
• Schwingungsgedämpfter Tisch (zum Gerät passend),
• Garantiezeitverlängerung auf 2 Jahre.
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja
Projektnummer oder -referenz: 2021 FGI 0020
II.2.14.
Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 021-051333
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 2220049/295304
Los-Nr.: 3
Bezeichnung des Auftrags:
Los 3 - Maskless Aligner
Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2.
Auftragsvergabe
V.2.1.
Tag des Vertragsabschlusses
18/03/2022
V.2.2.
Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3.
Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Postanschrift: Mittelgewannweg 27
Ort: Heidelberg
NUTS-Code: DE125 Heidelberg, Stadtkreis
Postleitzahl: 69123
Land: Deutschland
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4.
Angaben zum Wert des Auftrags/Loses
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 128 230,00 EUR
V.2.5.
Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimarplatz 4
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
18/03/2022