2022-OJS60-155600-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Leibniz Universität Hannover

Postanschrift: Welfengarten 1

Ort: Hannover

NUTS-Code: DE929 Region Hannover

Postleitzahl: 30167

Land: Deutschland

Kontaktstelle(n): Einkauf

E-Mail: vergabe@zuv.uni-hannover.de

Telefon: +49 5117625227

Fax: +49 5117624926

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: www.uni-hannover.de

I.2.

Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik

Referenznummer der Bekanntmachung: 51.35 -2022-2

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
42000000 Industrielle Maschinen

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7.

Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 575 000,00 EUR

II.2.

Beschreibung

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DE929 Region Hannover

Hauptort der Ausführung: Institut für Mikroproduktionstechnik An der Universität 2 30823 Garbsen

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

Geliefert werden soll ein System für das trockenätzen von Dünnschichten in der Mikrotechnik. Die Schichtsysteme bestehen aus sp2 und vor allem sp3 hybridisierten (Diamant) Kohlenstoff sowie Mischungen daraus und klassischen Materialien aus der Mikrotechnik wie z.B. Metalle, Metalloxide und Keramiken. Gefordert wird ein rein physikalisches Ätzen (IBE) mittels Argonionen und reaktivem Ionenstrahlätzen (RIBE) mit Hilfe von Argon(Ar) und Sauerstoff (O2) und das chemisch aktivierte Ionenstrahlätzen (CAIBE) mit Hilfe von Chlorgas (Cl2), Bortrichlorid (BCl3), und Sauerstoff (O2), zugeführt durch einen Gasring.

Eine in-situ Detektion des Ätzfortschrittes soll ermöglicht werden und in die Anlagensteuerung integriert sein. Die Substrate von bis zu 150 mm Durchmesser werden durch einen Substratträger auf einem dreh- und schwenkbaren Substrathalter geklemmt. Damit ist es möglich, die Orientierung der Probe, insbesondere den Einfallswinkel des Ionenstrahls gezielt zu manipulieren. Der Substrathalter ist wassergekühlt. Die Wärmeankopplung zum Substratträger erfolgt über ein Heliumpolster.

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Funktionsumfang / Gewichtung: 25

Qualitätskriterium - Name: Sonstiges (Inbetriebnahme vor Ort?, Kostenlose telefonische Kundenbetreuung, Kosten für die Kundenbetreuung vor Ort bei der ausführenden Stelle, Dauer und Umfang der Garantie, Möglichkeit der Fernwartung, Anbieter kann als Referenz mindestens fünf gleiche bereits ausgelieferte Systeme vorweisen) / Gewichtung: 25

Qualitätskriterium - Name: Lieferung (Alle Liefertermine, die vor dem 01.12.2022 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet.) / Gewichtung: 25

Kostenkriterium - Name: Bitte beachten Sie den Brutto-Gesamt-Auftragswert in Höhe von 685.000,00 EUR für das Gesamtsystem inkl. aller Nebenkosten. Dieser Wert darf nicht überschritten werden. Alle Preise sind in EUR anzugeben. / Gewichtung: 25

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: nein

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz: Antrags-Nr. ZW7-85196513

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 026-065700

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: Institut für Mikroproduktionstechnik

Bezeichnung des Auftrags:

Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
17/03/2022

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: scia Systems GmbH

Postanschrift: Annaberger Straße 240

Ort: Chemnitz

NUTS-Code: DED41 Chemnitz, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 09125

Land: Deutschland

E-Mail: sales@scia-systems.com

Telefon: +49 3715347-780

Fax: +49 3715347-781

Internet-Adresse: http://www.scia-systems.com

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 575 000,00 EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 575 000,00 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

Bekanntmachungs-ID: CXP4YHERUBW

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer beim Niedersächsischen Ministerium für Wirtschaft, Arbeit, Verkehr und Digitalisierung

Postanschrift: Auf der Hude 2

Ort: Lüneburg

Postleitzahl: 21339

Land: Deutschland

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
22/03/2022