Die EMFT nutzt hier bereits ein Closed Tube Stickstoff
Beladesystem, genannt "Atmoscan" und von AMTECH Systems
gebaut, im bestehendem Horizontalofen der Firma Tempress.
Diese spezielle "tube in tube" Technik ist patentiert, US Patent
# 4.459.104 4. 526.534 sowie US Patent # 4.453.059 5.
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