Beschreibung der Beschaffung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt, für Forschungszwecke ein (1) vielseitiges und benutzerfreundliches Elektronenstrahllithographiesystem anzuschaffen, welches Nanostrukturierung mit allerhöchster Auflösung und Präzision ermöglicht. Das System wird in erster Linie zur Herstellung ein- und mehrlagiger photonischer Nanostrukturen wie z.B. Metaoberflächen, Nanoantennen und photonischer Kristalle sowie zur Nanostrukturierung verschiedener experimenteller Materialsysteme, wie z.B. zweidimensionaler Halbleiter und responsiver Polymere verwendet werden.
Die genauen Spezifikationen sind in der Anlage 2 (Leistungsverzeichnis) aufgeführt.