2021-OJS65-164264-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2

Postanschrift: Hansastraße 27 c

Ort: München

NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 80686

Land: Deutschland

E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/

I.2.

Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage

Referenznummer der Bekanntmachung: E_064_287097

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Beschichtungsanlage.

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7.

Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 0,01 EUR

II.2.

Beschreibung

II.2.2.

Weitere(r) CPV-Code(s)
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt

NUTS-Code: DED2 Dresden

Hauptort der Ausführung: Fraunhofer IKTS Winterbergstraße 28 1277 Dresden

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

1 Stück Beschichtungsanlage Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-, High-k- und Metallnitride gemäß PEALD gemäß diesem Dokument abzuscheiden. Wir erwarten ein PEALD-Kit für das System, das eine schnelle Gasumschaltung ermöglicht. Es ist auch wichtig, dass die Ausgasung von Kammerwänden während der Verarbeitung im PEALD-Modus minimiert wird. Deshalb spezifizieren wir einen Heißwandreaktor mit Wandtemperaturen von bis zu 450 o C. Wir möchten die Probentemperatur in einem weiten Temperaturbereich steuern (von Raumtemperatur bis zu erhöhten Temperaturen, Temperaturbereich von 30 o C bis +450 o C). Wir legen Wert auf Kammerreinheit, um die Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Dazu betrachten wir einen Heißwandreaktor und eine effiziente Kammerreinigung. Wir erwarten eine ladbare Wafergröße von mindestens 200 mm. Wir betrachten die folgenden Gase: Ar, N2, O2, O3, H2, NH3. Eine Option für die In-situ-Ellipsometrie (hierfür benötigen wir 2 gekippte optische Ports) ist erforderlich. Wir benötigen eine halbautomatische Lastsperre im System mit manueller Beladung der Wafer mit einer Vakuumzange. Das Werkzeug wird im Reinraum des Fraunhofer IKTS in Dresden (Winterbergstraße 28) installiert und erleichtert.

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung des Produkts / Gewichtung: 55,00

Qualitätskriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 10,00

Preis - Gewichtung: 35,00

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: nein

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz: Es handelt sich hier um EFRE-Mittel.

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 021-049163

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
29/03/2021

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 3

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Picosun Oy

Postanschrift: Tietotie 3

Ort: Espoo

NUTS-Code: FI1 Manner-Suomi

Postleitzahl: 02150

Land: Finnland

E-Mail: christoph.hossbach@picosun.com

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 0,01 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer

Postanschrift: Villemombler Straße 76

Ort: Bonn

Postleitzahl: 53123

Land: Deutschland

VI.4.4.

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.

Postanschrift: Hansastraße 27c

Ort: München

Postleitzahl: 80686

Land: Deutschland

E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de

Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
29/03/2021