2022-OJS66-174333-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Stiftung des bürgerlichen Rechts

Postanschrift: Allmandring 30a

Ort: Stuttgart

NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis

Postleitzahl: 70569

Land: Deutschland

E-Mail: ims-chips-elektronenstrahlbelichtungsanlage@menoldbezler.de

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: www.ims-chips.de

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Stiftung bürgerlichen Rechts

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

IMS Chips - Europaweite Vergabe einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage

Referenznummer der Bekanntmachung: 2021/1491

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage zur Prozessierung von 150mm, und 200mm Wafern und 6" Masken.

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7.

Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 1,00 EUR

II.2.

Beschreibung

II.2.2.

Weitere(r) CPV-Code(s)
31000000 Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis

Hauptort der Ausführung: IMS Chips Allmandring 30a 70569 Stuttgart

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie.

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern und 6" Masken.

Ziel ist es, mit dieser Elektronenstrahlbelichtungsanlage sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen zu realisieren.

Für den Erwerb der verfahrensgegenständlichen Elektronenstrahlbelichtungsanlage erhält das IMS Fördermittel des Landes Baden-Württemberg.

Optional soll ein zweijähriger Wartungs- und Servicevertrag beauftragt werden.

Die Anforderungen an die zu beschaffenden Elektronenstrahlbelichtungsanlage ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf der Verträge, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Wafer (300mm) / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Masken (9035) / Gewichtung: 15

Qualitätskriterium - Name: Auflösung / Gewichtung: 15

Qualitätskriterium - Name: USV / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Lösung zur Datenvorbereitung / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Informationen zu ZP-Blenden / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Durchsatz / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Bewertung Bediensoftware / Gewichtung: 10

Kostenkriterium - Name: Uptime und Wartungskosten / Gewichtung: 10

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: nein

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz: Für den Erwerb des verfahrensgegenständlichen Elektronenstrahlbelichtungsanlage erhält das IMS EFFRE Fördermittel.

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Verhandlungsverfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 138-366538

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
28/02/2022

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Vistec Electron Beam GmbH

Postanschrift: Ilmstrasse 4

Ort: Jena

NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 07743

Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 1,00 EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 1,00 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

Bei den Angaben unter den Ziffern II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte eingetragen.

Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZRGRA

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe

Postanschrift: Durlacher Allee 100

Ort: Karlsruhe

Postleitzahl: 76137

Land: Deutschland

Fax: +49 721926-3985

Internet-Adresse: www.rp.baden-wuerttemberg.de

VI.4.3.

Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB).

Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet:

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit

1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat;

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist.

Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Fax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
30/03/2022