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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul
Beschreibung: Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Installation (Inbetriebnahme) und Einweisung eines Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul in einen Reinraum unter Reinraumbedingungen. Zusätzlich soll der gesamte Cluster auf SIA umgerüstet werden. Bei dem angebotenen Gerät hat es sich zwingend um ein CE-zertifiziertes Neugerät zu handeln.
Kennung des Verfahrens: 2eec2ded-0dc3-49aa-9322-b564715f83e7
Interne Kennung: FKF 2026-04
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Heisenbergstraße 1
Stadt: Stuttgart
Postleitzahl: 70569
Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 1,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul
Beschreibung: Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Installation (Inbetriebnahme) und Einweisung eines Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul in einen Reinraum unter Reinraumbedingungen. Zusätzlich soll das gesamte Cluster auf SIA umgerüstet werden. Bei dem angebotenen Gerät hat es sich zwingend um ein CE-zertifiziertes Neugerät zu handeln.
Interne Kennung: FKF 2026-04
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Stuttgart
Postleitzahl: 70569
Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: wirtschaftlichster Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Rangfolge
Zuschlagskriterium — Zahl: 1
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern, Vergabekammer Südbayern
Informationen über die Überprüfungsfristen: Etwaige Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund dieser Vergabebekanntmachung erkennbar sind, müssen innerhalb einer Frist von 30 Kalendertagen nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung bei der genannten Vergabekammer durch einen entsprechenden Vergabenachprüfungsantrag geltend gemacht werden. Vor Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens steht es einem am Auftrag interessierten Unternehmen frei, die Verletzung von Vergabevorschriften gegenüber der Auftraggeberin bei der genannten Kontaktstelle zu rügen; die vorgenannte Frist zur Einreichung eines Nachprüfungsantrags bleibt jedoch unberührt.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1,00 EUR
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Beschaffung eines zusätzlichen ALD-Moduls zum vorhandenen Plasmaprozessierungsclusters der Fa. Sentech. Für die Funktionsfähigkeit des Clusters muss das neue Modul ein integraler Bestandteil des Gesamtclusters sein, es muss konstruktionstechnisch am vorgegebenen Port andocken können und in die Steuerungssoftware des Systems eingebunden sein. Aufgrund der faktischen Unmöglichkeit ein Modul eines Konkurrenzherstellers in den vorhandenen Plasmaprozessierungscluster zu integrieren und aufgrund der einmaligen, teils patentierten Eigenschaften des angebotenen ALD-Moduls samt Echtzeitmonitorings kommt nur die Fa. Sentech in Frage. Weiterhin soll die Umrüstung des existierenden Clusters auf eine neue Anlagensteuerung des Herstellers Beckhoff und Plasma Prozess Software SIA von SENTECH passieren. Dies ist notwendig, da die 2019 verwendeten Steuereinheiten vom Hersteller abgekündigt wurden und nur noch über Restbestände zur Verfügung stehen. Neuentwicklungen in der Steuerungssoftware, die Sentech anbietet, können ohne diese Umrüstung zukünftig nicht genutzt werden.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebot:
Kennung des Angebots: FKF 2026-04
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: 1,00 EUR
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: ja
Rangfolge des Angebots: 1
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: FKF 2026-04
Datum der Auswahl des Gewinners: 16/02/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Registrierungsnummer: DE129517720
Postanschrift: Heisenbergstraße 1
Stadt: Stuttgart
Postleitzahl: 70569
Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Sachgebiet Einkauf des Max-Planck-Instituts für Festkörperforschung
Telefon: +49 711 689 0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: DE128244113
Stadt: Krailing
Postleitzahl: 82152
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 897 9607 0
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern, Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer: DE811335517
Postanschrift: Maximilianstraße 39
Stadt: München
Postleitzahl: 80538
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: c5301712-934c-4a2d-b5b8-b8816e28745b - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 12/03/2026 13:08:51 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 177633-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 51/2026
Datum der Veröffentlichung: 13/03/2026