182534-2023 - ErgebnisDeutschland-München: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
OJ S 61/2023 27/03/2023
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Research Society e. V.
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Research and Development

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
ICP-RIE plasma etch system - PR326801-2270-W
Referenznummer der Bekanntmachung: PR326801-2270-W
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
ICP-RIE plasma etch system
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung: EMFT Hansastraße 27d 80686 München
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
1 pc of ICP-RIE plasma etch system with options: 3.7.4 Suitable exhaust silencer for pre-vacuum pump included 3.7.15 Additional vacuum gauge for pressure measurement in the chamber till atmosphere 3.7.16 Additional vacuum gauge for pressure measurement directly at the pre-vacuum pump (for pre-vacuum monitoring) 3.8.8 Helium backside cooling with included clamping function and controllable helium pressure/flow for wafer up to 200 mm diameter possible 3.8.9 Substrate electrode with widely adjustable temperature range of -150 °C till 350 °C at least
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Technical / Gewichtung: 55,00
Qualitätskriterium - Name: Delivery time / Gewichtung: 10,00
Preis - Gewichtung: 35,00
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:
3.7.4 Suitable exhaust silencer for pre-vacuum pump included 3.7.15 Additional vacuum gauge for pressure measurement in the chamber till atmosphere 3.7.16 Additional vacuum gauge for pressure measurement directly at the pre-vacuum pump (for pre-vacuum monitoring) 3.8.8 Helium backside cooling with included clamping function and controllable helium pressure/flow for wafer up to 200 mm diameter possible 3.8.9 Substrate electrode with widely adjustable temperature range of -150 °C till 350 °C at least
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 031-091338
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein
V.1.
Information über die Nichtvergabe
Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
VI.4.4.
Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
22/03/2023