Lieferung eines Hochauflösenden FE-SEM-Systems mit EDS und weiterem Zubehör

Lieferung, Installation und betriebsbereite Übergabe eines modernen Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops (FE-SEM) mit Energie-dispersiver Röntgen-Spektroskopie (EDS). Das Gerät soll für die hochauflösende Abbildung im Hochvakuum-Modus als auch für den Betrieb im Niederspannungs- und Niedrigvakuum-Bereich (low vacuum mode, variable pressure) für die Untersuchung von unbeschichteten, nichtleitenden Proben geeignet sein. Für die EDS Analytik soll das Gerät auch hohe Strahlströme erzeugen können.

Hauptort der Ausführung: Carl von Ossietzky Universität Oldenburg Fakultät 5 Carl-von-Ossietzky-Str.9-11 26129 Oldenburg

Die Universität Oldenburg beabsichtigt die Beschaffung eines modernen Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops (FE-REM) für den Betrieb in der Elektronenmikroskopie Service-Einheit der Fakultät V, als Ersatzgerät für ein mehr als 25 Jahre altes HITACHI S-3200N, das den heutigen Anforderungen nicht mehr gerecht wird. Die Service Einheit bedient unterschiedlichste Bereiche (Physik, Chemie, Medizin, Biologie und Umweltwissenschaften), so dass das REM-System anwenderfreundlich sein muss und weitestgehend automatisierte Abläufe erlaubt, unter Bedienung aller System-Komponenten in einer Software. Das breite Nutzerspektrum von Material- bis Lebenswissenschaften bedeutet zudem unterschiedlichstes Probenmaterial hinsichtlich Probengeometrie (Form und Größe), Beschaffenheit, Leitfähigkeit, Strahlstabilität und Volatilgehalt (z.B. Restfeuchtigkeit in nicht vollständig entwässerten biologischen Proben). Das REM-System muss daher eine große Bandbreite an Anforderungen aktueller und zukünftiger Nutzer abdecken können. Insbesondere muss es in allen Betriebs-Modi (Hoch- und Niederspannung, Hochstrom- und Niederstrom, Hochvakuum und Niedervakuum) leistungsfähig sein, um die für die Service-Einheit essenzielle Flexibilität zu gewährleisten. Konkret muss das REM-System folgende technische Spezifikationen erfüllen und folgende Ausstattung haben:

1. Detektoren für Sekundärelektronen (SE), Rückstreu-Elektronen (BSE), Durchstrahl-Elektronen (STEM) und Röntgenstrahlen (Energie-dispersive Spektroskopie, EDS, Detektorgröße mind. 100 mm2).

2. hochauflösende SE-Abbildung im Hochvakuum-Modus über einen möglichst großen Beschleunigungsbereich (<=20 V bis 30 kV), dabei Auflösung besser als 0.5nm bei 15kV, 0.7nm bei 1kV, 0.9nm bei 0.5kV; Gegenfeld bis mind. 5kV. Die Untergrenze von 10-20 Volt ist für die SE-Abbildung besonders Strahl-sensitiver Proben nötig.

3. BSE-Detektor mit hoher Empfindlichkeit bereits im Niederspannungsbereich für die Untersuchung nichtleitender Proben.

4. hochauflösende SE-Abbildung im Niedrigvakuum-Modus (low vacuum mode, variable pressure, Auflösung besser als 1.3nm bei 50Pa), für die Untersuchung von unbeschichteten, nichtleitenden Proben bzw. nicht komplett wasserfreien Proben, mit automatischem Umschalten zw. Hoch- und Niedrig-Vakuum-Modus. Niedervakuum bis 300 Pa.

5. Feldfreie Elektronenoptik, Magnetfeld-freie Objektivlinse für störungsfreie hochauflösende Abbildung magnetischer Proben.

6. hohe Strahlströme für effiziente EDS-Analytik, mind. 100nA, aber möglichst bis 500nA, um eine hohe Zählrate an strahlstabilen Proben (z.B. inerte keramische Materialien) zu erlauben.

7. Integrierte, direkte Messung und Einstellung des Strahlstroms in Strahlengang mit Faraday-Cup.

8. Lange Lebensdauer der Feldemissionskathode.

9. EDS mit zeitaufgelöster Funktion, 100mm2 Sensorfläche, live-Funktion. Das EDS muss in die REM-Software integriert sein, um nahtlose, einfache Bedienung zu erlauben.

10. STEM in Hellfeld- und Dunkelfeld-Modus und simultan mit anderen Detektoren. STEM-Erkennung automatisch: der STEM-Detektor ist in der SEM Software integriert, so dass eine fehlerhafte Bedienung ausgeschlossen werden können

11. Vollautomatisierter Kühltisch, Temperatur einstellbar von -50°C bis 50°C; wichtig für in-situ Heizexperimente bzw. für Abkühlung und Reduktion des H2O-Dampfdrucks bei Untersuchungen wasserhaltiger Proben im Niedervakuum-Modus.

12. Schleuse für große Proben bis 100mm, mit integriertem lichtoptischen System für Proben-Navigation sowie vorgeschalteter Plasma-Reinigungsstufe zur Entfernung von Fett-/Öl-Resten auf Proben.

13. Manuelle Blenden: Zur einfacheren Wartung und Instandhaltung sind die manuellen Blenden ein wichtiger Parameter für die Ausrichtung und Strahlformung.

14. Freier Port für ein kompatibles Kathololumineszenz-Systems (CL).

15. Freier Port für ein in das REM-System integrierbares Soft-X-Ray Spektrometer (SXES).

Nach unserem Wissen erfüllt zurzeit nur das Gerät der Firma JEOL alle diese Anforderungen in e

Bei dem unter Ziffer V.2.1 angegebenen Datum 28.03.2023 handelt es sich um den Tag der Entscheidung über den geplanten Abschluss eines Vertrags mit der Fa. JEOL GmbH. Ein Vertrag wird erst nach Ablauf einer Frist von 10 Kalendertagen nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung geschlossen.

Erläuterung:

Das Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb ist zulässig, weil nach § 14 (4) 2b VgV aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist. Die dargelegten technischen Voraussetzungen des Geräts werden nur von einem einzigen Hersteller angeboten. Die Gesamtheit der für die geplanten Anwendungen erforderlichen Gerätemerkmale und Spezifikationen, mit den drei Alleinstellungsmerkmalen, 1. bei niedrigen als auch hohen Beschleunigsspannungen hohe Strahlströme erzeugen zu können, 2. bereits ab 10 V abbilden zu können, und 3. Integrierbarkeit eines SXES-Detektors, wird von keinem anderen Konkurrenzsystem erfüllt.Nur das Gerät der Firma JEOL erfüllt alle diese Anforderungen in einem Gerät. Ein wesentliches Alleinstellungsmerkmal des JEOL- Systems besteht darin, bei niedrigen als auch hohen Beschleunigungsspannungen hohe Strahlströme erzeugen zu können, aufgrund der patentierten In-Lens Schottky-Feldemissionskathode. Weiterhin erlaubt das JEOL-System eine Abbildung bereits ab 10V, so dass auch besonders spannungsempfindliche Proben abgebildet werden können. Beide Merkmale sind wesentlich für die EM-Service-Einheit, um den vielfältigen Nutzeranforderungen zu genügen, und werden von keinem anderen Konkurrenzsystem erfüllt, ebensowenig die Funktionalität der Schleuse und die Integrierbarkeit eines SXES-Detektors.

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: