Erläuterung:

Für die unmittelbare Präparation der Wafer und anderen Substrate vor der Abscheidung von Dünnschichten in der Bestec-Depositionskammer ist die zusätzliche Installation einer Kammer zur Substratvorbehandlung direkt am bestehenden System nötig. Es handelt sich hier um eine Spezialanfertigung. Die UHV-Kammer zur Substratvorbehandlung soll mit in die Anlagensteuerung der bestehenden Bestec-Depositionsanlage eingebunden werden. Dazu gehören Sicherheitsabfragen, Transfervorgänge und Pumpensteuerungen. Hierzu ist eine Erweiterung der Steuerungssoftware der Anlage nötig. Diese kann sinnvoll nur durch den Anlagenprogrammierer/Hersteller der Anlage erfolgen. Ebenso müssen die Kammerkomponenten wie Transfereinrichtungen mit dem bestehenden System kompatibel sein (insitu Substrat-Übergabe von einer Kammer in die nächste). Es wird also eine maßgeschneiderte Lösung für ein bestehendes System benötigt. Eine Beschaffung der benötigten Präparationskammer von einem anderen Hersteller als Fa. Bestec, würde unverhältnismäßige technische Schwierigkeiten und enorme Unzuverlässigkeit sowohl im Betrieb und als auch der Betriebssicherheit verursachen. Die existierende Anlage (sog. Cluster-Tool M453) ist ein kundenspezifisches System. Die direkte Anbindung der Präparationskammer ist aus technischen Gründen zwingend erforderlich. Die Beschaffung einer (ggf. separaten) Präparationskammer von einem anderen Hersteller ist keine Alternative, u.a. da proprietäre Software der Fa. Bestec für die Steuerung und Sicherheit der gesamten Anlage, incl. Präparationskammer, eingesetzt wird.

Es handelt sich um zusätzliche Leistungen vom ursprünglichen Auftragnehmer. Die ursprüngliche Leistung wurde im Offenen Verfahren vergeben.