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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Karlsruher Institut für Technologie
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Beschaffung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage
Beschreibung: ICP-RIE-Plasmaätzanlage für chlorhaltige Gase – Beschaffung für den weiteren Ausbau des Kompetenzzentrum für Hochauflösende Supraleitende Sensoren (HSS). --- Das Karlsruher Institut für Technologie (KIT) beabsichtigt, das Angebot der Firma OXFORD Instruments GmbH anzunehmen und nach Ablauf einer Frist von zehn Kalendertagen nach der Veröffentlichung dieser Bekanntmachung den Vertrag zu schließen.
Kennung des Verfahrens: b499d06e-9f71-4905-ba82-c25fcadd6b24
Interne Kennung: 230-2282
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Die Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens kann bei der in Ziff. VI.4.1) genannten Vergabekammer beantragt werden. Das Verfahren vor der Vergabekammer richtet sich nach den §§ 155 ff GWB. Nach § 160 GWB gilt: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt. Nach § 161 GWB gilt: (1) Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohnsitz oder gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung im Geltungsbereich dieses Gesetzes hat einen Empfangsbevollmächtigten im Geltungsbereich dieses Gesetzes zu benennen. (2) Die Begründung muss die Bezeichnung des Antragsgegners, eine Beschreibung der behaupteten Rechtsverletzung mit Sachverhaltsdarstellung und die Bezeichnung der verfügbaren Beweismittel enthalten sowie darlegen, dass die Rüge gegenüber dem Auftraggeber erfolgt ist; sie soll, soweit bekannt, die sonstigen Beteiligten benennen.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Beschaffung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage
Beschreibung: ICP-RIE-Plasmaätzanlage für chlorhaltige Gase – Beschaffung für den weiterenb Ausbau des Kompetenzzentrum für Hochauflösende Supraleitende Sensoren (HSS)
Interne Kennung: 230-2282
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.15.
Techniken
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Karlsruher Institut für Technologie
TED eSender: Beschaffungsamt des BMI
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 560 000,00 EUR
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Die Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung von höchstauflösenden supraleitenden Sensoren setzt den Einsatz von modernen Mikrofabrikationstechniken voraus, um die erforderlichen Strukturgrößen im Mikrometer-Bereich sowie die typischen Schichtdicken im Nano- bis Mikrometer-Bereich zuverlässig und reproduzierbar herstellen zu können. Ein wesentlicher Prozessschritt bei der Fertigung ist die plasmaunterstützte Ätzung von zuvor mittels Kathodenzerstäubung oder Elektronenstrahlverdampfung aufgebrachten Dünnschichten, die mit Hilfe von Photo- bzw. Elektronenstrahl-Lithographie strukturiert werden. Die Dicke der abgeschiedenen und damit zu ätzenden Schichten liegt hierbei im Bereich von wenigen Nanometern bis hin zu einigen Mikrometern. Die zu beschaffende ICP-RIE-Plasmaätzanlage soll die Ätzung von Materialien ermöglichen, die den Einsatz von chlorhaltigen Gasen erfordern. Hierzu zählen insbesondere die metallischen Supraleiter Titan und Aluminium, die normalleitenden Metalle Chrom, Kupfer und Gold sowie der Isolator Aluminiumoxid. Außerdem müssen physikalische Ätzungen mittels Argon-Plasma möglich sein. Grundsätzlich müssen alle genannten Ätzungen mit hoher lateraler und vertikaler Homogenität durchgeführt werden können. Für die im Rahmen von HSS geplanten plasmaunterstützten Ätzprozesse soll die hier spezifizierte ICP-RIE-Plasmaätzanlage zum Einsatz kommen. Diese muss für ein niederenergetisches, schädigungsarmes Ätzen von dünnen Schichten mit Dicken bis zu 1 μm ausgelegt sein.
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Karlsruher Institut für Technologie
Registrierungsnummer: DE266749428
Stadt: Karlsruhe
Postleitzahl: 76131
Land, Gliederung (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Land: Deutschland
Telefon: +49 721 608 44772
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: OXFORD Instruments GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE113869215
Postanschrift: Borsigstraße 15
Stadt: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land, Gliederung (NUTS): Wiesbaden, Kreisfreie Stadt (DE714)
Land: Deutschland
Telefon: +49 6122 937161
Rollen dieser Organisation:
Bieter
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Registrierungsnummer: 08-A9866-40
Stadt: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land, Gliederung (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Land: Deutschland
Telefon: +49 721 926 8730
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0005
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: c34a1950-ea6c-4cc9-a1df-bc4f8c12d365 - 01
Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe
Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Unterart der Bekanntmachung: 25
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 07/04/2024 00:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 209104-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 70/2024
Datum der Veröffentlichung: 09/04/2024