219801-2026 - Ergebnis
Frankreich – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
OJ S 63/2026 31/03/2026
Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: CEA Grenoble
E-Mail: angueran.thirion@cea.fr
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
Beschreibung: Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°7 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Kennung des Verfahrens: 5df4d207-d680-4796-98bb-72bd17912944
Vorherige Bekanntmachung: 454099-2025
Interne Kennung: B25-02317-AT
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Grenoble
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
Zusätzliche Informationen: Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’ appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage: 
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
Beschreibung: Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°7 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Interne Kennung: B25-02317-AT
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Grenoble
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 12 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium: 
Art: Preis
Beschreibung: Le prix n'est pas le seul critère prévu. L'ensemble des critères d'attribution est énoncé dans les pièces de la consultation.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (dezimal, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 1
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: 
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: 
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Informationen über die Überprüfungsfristen: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: CEA Grenoble
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: CEA Grenoble
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Greffe Tribunal administratif de Grenoble
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner: 
Offizielle Bezeichnung: Lam Research International Sdn. Bhd
Angebot: 
Kennung des Angebots: 265023-C et 270052-C
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert des Angebots: 1,00 EUR
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Noch nicht bekannt
Informationen zum Auftrag: 
Kennung des Auftrags: B25-02317-AT
Datum des Vertragsabschlusses: 06/03/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge: 
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: CEA Grenoble
Registrierungsnummer: 775 685 019 00298
Postanschrift: 17 rue des Martyrs
Stadt: Grenoble
Postleitzahl: 38054
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
Kontaktperson: M. Anguéran Thirion
E-Mail: angueran.thirion@cea.fr
Telefon: 0659450565
Profil des Erwerbers: https://www.marches-publics.gouv.fr
Rollen dieser Organisation: 
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Registrierungsnummer: 173800053
Postanschrift: 2 Place de Verdun Boîte Postale 1135
Stadt: Grenoble Cedex
Postleitzahl: 38022
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
Internetadresse: https://grenoble.tribunaladministratif.fr/
Rollen dieser Organisation: 
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Lam Research International Sdn. Bhd
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: 202001006985
Postanschrift: PMT 789, Persiaran Cassia Selatan 1, Batu Kawan Industrial Park
Stadt: Penang
Postleitzahl: 14110
Land: Malaysia
Internetadresse: www.lamresearch.com
Rollen dieser Organisation: 
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union
Registrierungsnummer: PUBL
Stadt: Luxembourg
Postleitzahl: 2417
Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)
Land: Luxemburg
E-Mail: ted@publications.europa.eu
Telefon: +352 29291
Internetadresse: https://op.europa.eu
Rollen dieser Organisation: 
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: b43e6c84-8baf-4660-b27f-91cf502787a5  -  01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/03/2026 07:29:07 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Französisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 219801-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 63/2026
Datum der Veröffentlichung: 31/03/2026