1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Stuttgart
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Anlage zum Reaktiven Ionenätzen
Beschreibung: Anlage zum Reaktiven Ionenätzen mit induktiv-gekoppelter Plasmaquelle
Kennung des Verfahrens: ab22415b-9765-4d00-baac-a1a18f26cc98
Interne Kennung: 24-262
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Pfaffenwaldring 57
Stadt: Stuttgart
Postleitzahl: 70569
Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Universität Stuttgart, 4. Physikalisches Institut Erdgeschoss, Mikrostrukturlabor
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 429 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Der Aufruf zum Wettbewerb ist beendet
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXUEYY8YT4HFZ600 Zuschlagskriterien für diese Ausschreibung: 1. Preis: 60 Punkte (60 %) 2. Erfahrungsmerkmale: 10 Punkte (10 %) 3. Leckprüfung: 10 Punkte (10 %) 4. maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung: 10 Punkte (10 %) 5. Umweltaspekte: 10 Punkte (10 %) -------------------------------------------------------------------- Die Zahlungsbedingungen sind in § 7 der AGB der Universität Stuttgart geregelt. Eine Vorauszahlung muss mittels selbstschuldnerischer Bankbürgschaft oder einer vergleichbaren Sicherheit abgesichert sein. Die Kosten für eine solche Bürgschaft trägt der Auftragnehmer. -------------------------------------------------------------------- Information zur Umsetzung der datenschutzrechtlichen Vorgaben nach der Datenschutzgrundverordnung (DSGVO) an der Universität Stuttgart. -------------------------------------------------------------------- Fragen sind ausschließlich elektronisch über das Vergabeportal unter Bezugnahme auf den jeweiligen Anhang sowie unter Nennung des jeweiligen Abschnitts bzw. des Paragraphen zu stellen. Verbindlicher Bestandteil der Vergabeunterlagen werden nur die über das Vergabeportal erteilten Antworten. Mündliche Auskünfte und Erklärungen haben keine Gültigkeit. -------------------------------------------------------------------- Support und Beratung zum Vergabeportal: Anleitungen und Tutorials: https://support.cosinex.de/ Beratung: support@cosinex.de
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Anlage zum Reaktiven Ionenätzen
Beschreibung: Für ein großes Reinraumlabor wird eine Anlage zum Reaktiven Ionenätzen mit induktiv-gekoppelter Plasmaquelle benötigt. Gesucht wird ein erprobtes System, da die Ätzprozesse für Forschungszwecke benötigt werden und zentral in den Prozesssträngen verangert werden müssen. Die Anlage muss ein breites Proben- und Materialspektrum abdecken können, sowohl in zu ätzendem Material als auch Probengrößen.
Interne Kennung: 24-262
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Pfaffenwaldring 57
Stadt: Stuttgart
Postleitzahl: 70569
Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Universität Stuttgart, 4. Physikalisches Institut Erdgeschoss, Mikrostrukturlabor
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Das Angebot mit dem niedrigsten Gesamtpreis erhält die Höchstpunktzahl. Ist der Gesamtpreis eines Angebots z.B. um 100% höher im Vergleich zum Angebot mit dem niedrigsten Gesamtpreis, dann erhält dieses Angebot 0 Punkte. 0 Punkte stellen die Untergrenze dar, es werden keine Negativpunkte vergeben.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 60
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Erfahrungsmerkmale
Beschreibung: Erfahrungsmerkmale: Für den Betrieb ist Prozesswissen zentral und für eine nachhaltige Nutzung ist ein Austausch mit anderen Nutzern erfahrungsgemäß von großer Bedeutung. Daher wird der Nachweis von mind. 5 Referenzen für das gleiche System (mit ICP Quelle) aus den letzten 5 Jahren in räumlicher Nähe zusätzlich gewichtet.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Leckprüfung
Beschreibung: Für die Bandbreite der möglichen Ätzprozesse sind die maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung wichtig. Die Mindestanforderungen betragen P(ICP) >= 400 W an der ICP Quelle und P(Substrat) >= 200 W bei je 13.56 MHz. Für größere Leistungen werden entsprechend zusätzliche Punkte vergeben.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung
Beschreibung: Für die Bandbreite der möglichen Ätzprozesse sind die maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung wichtig. Die Mindestanforderungen betragen P(ICP) >= 400 W an der ICP Quelle und P(Substrat) >= 200 W bei je 13.56 MHz. Für größere Leistungen werden entsprechend zusätzliche Punkte vergeben.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Umweltaspekte
Beschreibung: Umweltaspekte: Nachhaltigkeit und Umweltschutz sind Kernziele des Landes Baden-Württemberg.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Baden-Württemberg im Regierungspräsidium Karlsruhe
Informationen über die Überprüfungsfristen: Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist. Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Telefax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität Stuttgart
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Universität Stuttgart, Zentrale Beschaffungsstelle
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 360 000,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: 1 - 23612
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert des Angebots: 360 000,00 EUR
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Noch nicht bekannt
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: 1
Titel: Oxford Instruments GmbH, 65205 Wiesbaden
Datum des Vertragsabschlusses: 28/03/2025
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote geprüft und als unzulässig abgewiesen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote geprüft und aufgrund eines ungewöhnlich niedrigen Preises oder aufgrund ungewöhnlich niedriger Kosten als unzulässig abgewiesen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Bandbreite der Angebote:
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots: 360 000,00 EUR
Wert des höchsten zulässigen Angebots: 360 000,00 EUR
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Stuttgart
Registrierungsnummer: DE 147 794 196
Postanschrift: Keplerstraße 7
Stadt: Stuttgart
Postleitzahl: 70174
Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Land: Deutschland
Telefon: +49 7116850
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Universität Stuttgart, Zentrale Beschaffungsstelle
Registrierungsnummer: DE147794196
Postanschrift: Keplerstraße 7
Stadt: Stuttgart
Postleitzahl: 70174
Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Land: Deutschland
Kontaktperson: 1000
Telefon: +49 7116850
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Baden-Württemberg im Regierungspräsidium Karlsruhe
Registrierungsnummer: DE811469974
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Stadt: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land, Gliederung (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Land: Deutschland
Telefon: +49 7219268730
Fax: +49 7219263985
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: HRB 21599 Wiesbaden
Postanschrift: Borsigstraße 15a
Stadt: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land, Gliederung (NUTS): Wiesbaden, Kreisfreie Stadt (DE714)
Land: Deutschland
Telefon: 06122937130
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
Der Gewinner ist auf einem geregelten Markt notiert
8.1.
ORG-0005
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 639cab40-6cd0-4a78-bbaa-0683ba767104 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 10/04/2025 13:54:59 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 237456-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 72/2025
Datum der Veröffentlichung: 11/04/2025