Erläuterung:

Im Rahmen der POV IV und den Strukturwandelprogramm im Bereich des Neuromorphic Computing (NEUROTEC) ist das Peter Grünberg Institut für elektronische Materialien (PGI-7) im Forschungszentrum Jülich mit zunehmenden Anforderungen an die Zuverlässigkeit der memristiven Dünnschicht-Bauelemente konfrontiert. Damit einher geht die Notwendigkeit, ultradünne Metallschichten in zuverlässiger und präziser Weise herzustellen. Eine zentrale Methode zur Abscheidung dieser Schichten ist das Elektronenstrahlverdampfen (ESV). Zurzeit wird zu diesem Zweck die Univex ESV-Anlage der Firma Leybold in der Helmholtz-Nanofacillity (HNF) genutzt.

Um innerhalb des NEUROTEC Projekts international wettbewerbsfähig zu bleiben, wird das PGI-7 zukünftig mit Halbleiterwafer arbeiten, die Materialien enthalten (insbesondere Cu), die in der HNF aus Gründen der gegenseitigen Kontamination nicht verwendet werden dürfen. Aus diesem Grunde soll der Reinraum des PGI-7 mit einer zweiter ESV Anlage ausgerüstet werden, um in Zukunft identische Prozesse sowohl am PGI-7 als auch in der HNF durchführen zu können. Dadurch ist gewährleistet, dass neuromorphe Schaltungen, die kritische Materialien (z.B. Cu) enthalten, mit der gleichen Qualität hergestellt werden können, wie die Schaltungen, die jahrelang auf Basis der HNF ESV-Prozesse entwickelt wurden. Die identische Prozessführung am PGI 7 und in der HNF ist nur dann möglich, wenn eine identische Anlage, der Firma Leybold angeschafft wird.