Beschreibung der Beschaffung
1 Stück Für das Aufdampfen von metallischen Dünnschichten im Hochvakuum wird ein Metallverdampfer benötigt, der sowohl mittels thermischer Verdampfung als auch mittels Elektronenstahl-Verdampfung arbeiten kann. Die thermische Verdampfereinheit soll zwei Quellen besitzen und eine elektrische Nennleistung von mindestens 2 kW aufweisen, so dass auch hochschmelzende Metalle wie z.B. Nickel oder Palladium thermisch verdampft werden können. Der Elektronenstahl-Verdampfer soll eine Leistung von mindestens 3 kW haben und das Aufdampfen aller typischen Metalle (inklusive z.B. Platin) ermöglichen. Diese Einheit soll 4 verschiedene Tiegel zu je 8 cm³ Volumen zur Verfügung stellen, die motorisiert während eines Prozesses ausgewählt werden können. Optionen: O1.7: Elektronenstrahlverdampfer mit Platz für 6 Tiegel à 4 cm3, motorisierter Tiegelpositionierung, elektro-pneumatischer Verdampferblende und Hochspannungsnetzgerät mit mindestens 3 kW Leistung inklusive Steuereinheit O4.1: Zweiter Satz Edelstahl-Abschirmbleche zur Vermeidung unerwünschter Beschichtungen der Innenwände O4.2: Schiffchen/Tiegel für die thermische Quellen, geeignet für die Abscheidung von Al, Au und Ni O4.3: Tiegel für die Elektronenstrahlquelle (Wolfram, Kohlenstoff, Intermetallisch) O4.4: Quarzkristalle für die Schichtdickenmessung O8.2: Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. O8.3: Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional.