Art des öffentlichen Auftraggebers Regional- oder Kommunalbehörde
I.5.
Haupttätigkeit(en) Bildung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Hochleistungs-ICP-Ätzanlage
Referenznummer der Bekanntmachung: 200/12/22/1
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil 38970000 Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft
II.1.3.
Art des Auftrags Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Die ICP-Ätzanlage stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 2"), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Strukturhomogenität stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.
II.1.6.
Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7.
Gesamtwert der Beschaffung Wert ohne MwSt.: 467 487,00 EUR
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DEA47 Paderborn
Hauptort der Ausführung:
Universität Paderborn Warburger Str. 100 33098 Paderborn
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
Es wurde im Rahmen des Offenen Verfahrens ein schlüsselfertiges halbautomatisches Prozessmodul bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und Prozessanleitung gefordert. Dieses muss im Reinraum der Universität in Betrieb genommen werden. Die Anlage muss auf einer Stellfläche von < = 170 cm x 65 cm für die Haupteinheit (ohne Vorpumpen, PC, heater/ chiller) platziert werden können.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 073-194721
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Bezeichnung des Auftrags:
Auftragsvergabe Oxford Instruments GmbH
Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2.
Auftragsvergabe
V.2.1.
Tag des Vertragsabschlusses 16/05/2022
V.2.2.
Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3.
Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden.
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden.
4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.
VI.4.4.
Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster