2021-OJS104-273443-de

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.

Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: BTU Cottbus-Senftenberg

Postanschrift: Platz der Deutschen Einheit 1

Ort: Cottbus

NUTS-Code: DE402 Cottbus, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 03046

Land: Deutschland

Kontaktstelle(n): VB 2.3 Beschaffung

E-Mail: christin.markus@b-tu.de

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: https://www.b-tu.de

I.4.

Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5.

Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.

Umfang der Beschaffung

II.1.1.

Bezeichnung des Auftrags

Forschungslabor Mikroelektronik Cottbus – Senftenberg für Siliziumbasierte Optoelektronik – ForLab FAMOS

Referenznummer der Bekanntmachung: F41_000341

II.1.2.

CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3.

Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4.

Kurze Beschreibung

Trockenätzsystem mit hochdichter Plasmaquelle und Vakuumschleuse, PECVD System mit Vakuumschleuse und rechnergestütztes Kontaktprofilometer

Die Beschaffung von einem Trockenätzsystem mit hochdichter Plasmaquelle und Vakuumschleuse und PECVD System mit Vakuumschleuse dient der Herstellung von optoelektronischen Bauelementen, die auf Materialintegration (GeSn, SiGeSn, Oxide und 2D-Materialien) auf dem Grundmaterial Si basieren. Gesucht werden erprobte Systeme, da die Ätz- und Beschichtungsprozesse für Forschungszwecke benötigt werden und unmittelbar in Forschungsprojekten eingesetzt werden sollen.

Das Trockenätzsystem mit hochdichter Plasmaquelle und Vakuumschleuse dient zur Übertragung lithografisch hochpräzise definierter Nanostrukturen in das darunterliegende Material. Hierzu ist der Einsatz der Ätzgase Cl2, HBr, CHF3, CF4, SF6, Ar, O2 geplant, zudem soll die Anlage die Möglichkeit zur Regulierung der Wafertemperatur über einen großen Temperaturbereich und die Möglichkeit zum Atomic Layer Etching für sehr gute Kontrolle der Ätztiefen, sehr glatte Oberflächen und hervorragende Uniformität bieten. Gesucht wird ein System, das insbesondere hinsichtlich der Strukturierung des Grundmaterials Si erprobt ist. Darüber hinaus soll diese Anlage durch die große Anzahl der Prozessgase für die Strukturierung unterschiedlicher Materialklassen ausgelegt sein.

Ferner ist zur Oberflächenpassivierung bei optoelektronischen Bauelementen ein PECVD System mit Vakuumschleuse nötig, in dem Si-basierte Oxide (auf TEOS-Basis) und Nitrite sowie a-Si abgeschieden werden können. Die Anlage soll die Abscheidung von passivierenden Schichten speziell bei niedrigen Temperaturen ermöglichen.

Zur Bestimmung der Ätztiefen ist ferner ein rechnergestützes Kontakprofilometer erforderlich. Gesucht wird ein erprobtes System zur rechnergestützten zwei- oder dreidimensionalen Vermessung mikroskopischer oder submikroskopischer Oberflächentopografien inklusive passivem Schwingungsdämpfungstisch zur reinraumgeeigneten Aufstellung.

— Los 1: Trockenätzsystem mit hochdichter Plasmaquelle und Vakuumschleuse,

— Los 2: PECVD System mit Vakuumschleuse,

— Los 3: Rechnergestütztes Kontaktprofilometer,

Um Synergien der Anlagen zu nutzen und Aufwände, insbesondere Kosten, für Wartung zu reduzieren, werden LOS 1 und Los 2 nur zusammen vergeben.

II.1.6.

Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: ja

II.1.7.

Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 903 370,00 EUR

II.2.

Beschreibung

II.2.1.

Bezeichnung des Auftrags

Trockenätzanlage

Los-Nr.: LOS 1

II.2.2.

Weitere(r) CPV-Code(s)
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DE40B Oberspreewald-Lausitz

Hauptort der Ausführung: BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

Trockenätzanlage gemäß Leistungsbeschreibung.

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technisch-inhaltliche Anforderungen / Gewichtung: 60

Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 10

Preis - Gewichtung: 30

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Gemäß Leistungsbeschreibung zu Los 1

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert.

II.2.

Beschreibung

II.2.1.

Bezeichnung des Auftrags

PECVD-Anlage

Los-Nr.: LOS 2

II.2.2.

Weitere(r) CPV-Code(s)
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DE40B Oberspreewald-Lausitz

Hauptort der Ausführung: BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

PECVD-Anlage gemäß Leistungsbeschreibung.

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technisch-inhaltliche Anforderungen / Gewichtung: 60

Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 10

Preis - Gewichtung: 30

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Gemäß Leistungsbeschreibung zu Los 2

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert.

II.2.

Beschreibung

II.2.1.

Bezeichnung des Auftrags

Kontaktprofilometer

Los-Nr.: LOS 3

II.2.2.

Weitere(r) CPV-Code(s)
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.2.3.

Erfüllungsort

NUTS-Code: DE40B Oberspreewald-Lausitz

Hauptort der Ausführung: BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg

II.2.4.

Beschreibung der Beschaffung

Kontaktprofilometer gemäß Leistungsbeschreibung

II.2.5.

Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technisch-inhaltliche Anforderungen / Gewichtung: 60

Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 10

Preis - Gewichtung: 30

II.2.11.

Angaben zu Optionen
Optionen: nein

II.2.13.

Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14.

Zusätzliche Angaben

Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert.

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.

Beschreibung

IV.1.1.

Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.3.

Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8.

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2.

Verwaltungsangaben

IV.2.1.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 010-016704

IV.2.8.

Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9.

Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 21-1504-137-0084

Los-Nr.: 1 und 2

Bezeichnung des Auftrags:

Trockenätzsystem und PECVD System

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
21/04/2021

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH

Postanschrift: Borsigstraße 15a

Ort: Wiesbaden

NUTS-Code: DE714 Wiesbaden, Kreisfreie Stadt

Postleitzahl: 65205

Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 850 000,00 EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 850 000,00 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 21-1504-137-0085

Los-Nr.: 3

Bezeichnung des Auftrags:

Rechnergestütztes Kontaktprofilometer

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2.

Auftragsvergabe

V.2.1.

Tag des Vertragsabschlusses
03/05/2021

V.2.2.

Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 2

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3.

Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Schaefer Technologie GmbH

Postanschrift: Robert-Bosch-Str. 31

Ort: Langen

NUTS-Code: DE71C Offenbach, Landkreis

Postleitzahl: 63225

Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4.

Angaben zum Wert des Auftrags/Loses

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 55 000,00 EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 53 370,00 EUR

V.2.5.

Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.

Zusätzliche Angaben

Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter „Vergabeunterlagen“.

Vorsorglich wird insbesondere auf Punkt 1, Nr. 1 der VOL/B mit dem Hinweis verwiesen, dass anderslautende Geschäfts-, Liefer-, oder Zahlungsbedingungen des Auftragnehmers nicht Bestandteil des Vertrages werden.

Bekanntmachungs-ID: CXP9YY0R0B7.

VI.4.

Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1.

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie

Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107

Ort: Potsdam

Postleitzahl: 14473

Land: Deutschland

Telefon: +49 3318661-610

Fax: +49 3318661-652

Internet-Adresse: https://mwae.brandenburg.de/de/vergabekammer-nachpr%c3%bcfungsverfahren/bb1.c.478846.de

VI.4.3.

Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

Der Antrag ist unzulässig, soweit:

1) der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,

2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen.

VI.5.

Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
27/05/2021