273933-2022 - ErgebnisDeutschland-München: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
OJ S 99/2022 23/05/2022
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf C2
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
I.2.
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Materialanalysemikroskop mit Schichtdickenmessystem - PR58991-2270-W
Referenznummer der Bekanntmachung: PR58991-2270-W
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Materialanalysemikroskop mit Schichtdickenmessystem
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung: Fraunhofer EMFT Hansastraße 27d 80686 München
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück Damit bei der physikalischen Analyse einer integrierten Schaltung auf ihre jeweiligen Metalllagen exakt delayert werden kann, muss das, zwischen diesen Lagen befindliche IMD-Material über chemische Prozesse abgetragen werden. Im Falle von aktuellen Cu-Technologien der ICs betragen diese IMD-Schichtendicken teils wenige 10 nm. Für die Prozessentwicklung und -durchführung ist es demnach von äußerster Wichtigkeit, solche (semi-)transparenten IMD-Schichtdicken präzise messen zu können. Aus diesem Grund soll ein Schichtdickenmesssystem auf Mikroskopbasis mit den nachfolgenden Kriterien beschafft werden.
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung / Gewichtung: 55,00
Qualitätskriterium - Name: Verbindliche Lieferzeitq / Gewichtung: 10,00
Preis - Gewichtung: 35,00
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja
Projektnummer oder -referenz: EFRE Mittel (REACT Projekt)
II.2.14.
Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 071-188796
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein
V.1.
Information über die Nichtvergabe
Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
VI.4.4.
Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
18/05/2022