1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: CMP Anlage
Beschreibung: Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten
Kennung des Verfahrens: aa9010dd-16f2-4b6f-8916-8c7896a172f2
Interne Kennung: 04-WIS26E1OV
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42611000 Werkzeugmaschinen für besondere Zwecke, 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Universität Siegen Graphen-basierte Nanotechnologie Adolf-Reichwein-Straße 28 (INCYTE) 57076 Siegen
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXPNY56DV7W#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: CMP Anlage
Beschreibung: Beschafft wird eine Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Das Gerät ist als integraler Bestandteil des halbleitertechnologischen Reinraums des Forschungsgebäudes INCYTE der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen vorgesehen. Es dient in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Planarisierung und Glättung unterschiedlichster Substrate oder Proben, wobei überwiegend im Halbleiterbereich gebräuchliche Substrate adressiert werden sollen. Die Anlage steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung. Zudem soll die Planarisierungsanlage zentral allen Forschern und Kooperationspartnern der Universität Siegen zur Verfügung stehen. Das Projektbudget der Hochschule beträgt maximal 407.000,00 EUR brutto. Dieser Betrag umfasst sämtliche anfallenden Steuern und Kosten- einschließlich jener aus dem Reverse-Charge-Verfahren, welche die Universität Siegen direkt an das Finanzamt abführt. Soweit erforderlich, rechnet die Vergabestelle diese Steuerlast bei Angebotsauswertung dem Angebotspreis hinzu. Angebote, die diese Obergrenze überschreiten, werden zwingend vom Vergabeverfahren ausgeschlossen. Bitte beachten Sie: Auch wenn die Leistungsbeschreibung in englischer Sprache bereitgestellt wird, müssen sämtliche Vergabeunterlagen zwingend in deutscher Sprache ausgefüllt und eingereicht werden. Ausländische Bieter haben gleichwertige Nachweise ihrer zuständigen Heimatbehörden vorzulegen. Diese sind zusätzlich in einer deutschen Übersetzung beizufügen.
Interne Kennung: 04-WIS26E1OV
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42611000 Werkzeugmaschinen für besondere Zwecke, 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Universität Siegen Graphen-basierte Nanotechnologie Adolf-Reichwein-Straße 28 (INCYTE) 57076 Siegen
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe
Beschreibung des Eignungskriteriums: ALLGEMEINER HINWEIS: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Die geforderten Nachweise sind von dem Bieter bzw. den Mitgliedern der Bietergemeinschaft jeweils gesondert vorzulegen. Alle Nachweise sind mit dem Angebot vorzulegen; fehlende Nachweise können vom Auftraggeber nachgefordert werden. Ausländische Bewerber haben gleichwertige Nachweise der für sie zuständigen Behörde/Institution ihres Heimatlandes beizubringen. Zusätzlich sind diese ins Deutsche zu übersetzen.
Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe
Beschreibung des Eignungskriteriums: Sofern eine Teilnahme als Bietergemeinschaft beabsichtigt ist, hat die Bietergemeinschaft in ihrem Angebot eine Erklärung abzugeben, in der alle Mitglieder der Bietergemeinschaft und der für die Durchführung des Vertrages rechtskräftig bevollmächtigte Vertreter benannt werden (Vordruck 04-WIS25E1OV-Eigenerklärung). Darüber hinaus ist zu erklären, dass alle Mitglieder der Bietergemeinschaft dem Auftraggeber als Gesamtschuldner haften (formloses Schreiben durch die Vertreter aller Mitglieder der Bietergemeinschaft unterschrieben (Vordruck 04-WIS25E1OV-Eigenerklärung ggfs. formlose Eigenerklärung). Wenn ein Bieter für Leistungen Nachunternehmer einsetzen will und sich auch auf die Eignung eines Nachunternehmers berufen will (Eignungsleihe) ist Vordruck 04-WIS25E1OV Eigenerklärung Nachunternehmer zu verwenden. Zusätzlich sind die konkret nach Maßgabe dieser Bekanntmachung erforderlichen Eignungsnachweise für den Nachunternehmer vorzulegen.
Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung, dass der Bewerber eine Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Mindestdeckungssumme in Höhe von 1.000.000 EUR je Schadensfall für Personenschäden und in Höhe von jeweils 1.000.000 EUR je Schadensfall für Vermögens- und Sachschäden bzw. im Auftragsfall unverzüglich abschließen wird. (Vordruck 04-WIS25E1OV Eigenerklärung)
Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung des Eignungskriteriums: Erklärung über den Gesamtumsatz in den letzten 3 Geschäftsjahren (Geschäftsjahre 2023, 2024, 2025) und über den Umsatz für den Bereich der ausgeschriebenen Aufgabenbereiche für die genannten Geschäftsjahre. (Vordruck 04-WIS25E1OV-Eigenerklärung).
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Bitte geben Sie drei Referenzkunden aus den letzten 5 Jahren an, bei denen Sie bereits Leistungen in ähnlicher technischer Ausführung und Größenordnung erbracht haben. (Die Angaben sind zwingend. Mit einem Hinweis auf den Datenschutz können die Angaben nicht verweigert werden. Der Bieter ist für die Rechtmäßigkeit der Datenweitergabe verantwortlich.) (Vordruck 04-WIS25E1OV Eigenerklärung)
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Qualitative Kriterien gemäß der Vergabeunterlagen B1.1 bis B1.15
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 67
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: Der Bieter mit dem günstigsten Preis erhält in der Kategorie Preis die maximale Punktzahl und dieser dient als Referenzwert für die weitere Bewertung. Die anderen Angebote werden im Verhältnis hierzu prozentual abgestuft. Angebote, die den zur Verfügung stehenden Budgetrahmen von 407.000,01 EUR (=brutto) inklusive aller Kosten, wie z.B. Trasport-, Importkosten, ggfls. ausländischer und inländischer Steuern im Falle eines Reverse-Charge-Verfahrens übersteigen, werden mit null Punkten gewertet und sind zwingend auszuschließen. Preispunkte von Angebot i=(P_min/P_i ) L_max Pmin = Der niedrigste Preis aller wertbaren Angebote (Referenzwert) Pi = Der Preis des aktuell zu bewertenden Angebots Lmax = Die maximal erreichbare Punktzahl (hier: 750 Punkte)
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Punkte, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 33
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 15/05/2026 23:59:59 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
Name: Kommunikationsportal des Vergabemarktplatzes NRW
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 22/05/2026 11:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 6 Wochen
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Die Nachforderungsmöglichkeit von Unterlagen richtet sich nach den Regelungen des § 56 VgV.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 22/05/2026 11:01:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Ort des Eröffnungstermins: elektronische Vergabeplattform des Landes Nordrhein-Westfalen (VMP-NRW).
Eröffnungstermin — Beschreibung: VMP-NRW-legitimiertes Personal des Auftraggebers erhalten im Vier-Augen-Verfahren mit Zeitpunkt des Fristablaufes Zugang zu den Angeboten.
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Wesentliche Zahlungsbedingungen: Die Universität Siegen darf Vorauszahlungen bzw. Anzahlungen nur gegen Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft leisten. Die Bürgschaft muss selbstschuldnerisch und unter Verzicht auf die Einreden der Anfechtung, Aufrechenbarkeit und der Vorausklage von einer Bank innerhalb der Europäischen Union ausgestellt sein. Die Dauer der Bankbürgschaft muss dabei unbefristet oder auf einen Zeitpunkt befristet sein, der mindestens drei Monate nach dem vom Bieter zugesagten Lieferzeitpunkt liegt. In letzterem Fall ist ein Lieferdatum zwingend anzugeben. Die Rückgabe der Anzahlungsbürgschaft erfolgt nach der vollständigen Lieferung. Der Auftragnehmer wird spätestens 14 Tage vor Ablauf der Bankbürgschaft unaufgefordert eine neue gleichartige Bankbürgschaft bei der Universität Siegen vorlegen, falls die vollständige Abnahme noch nicht erfolgt ist. Andernfalls wird die Universität Siegen die auslaufende Bankbürgschaft in Anspruch nehmen.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Informationen über die Überprüfungsfristen: Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität Siegen
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Universität Siegen
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
Registrierungsnummer: DE 154854171
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Vergabestelle
Telefon: +49 271740-4867
Fax: +49 271740-14918
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Registrierungsnummer: 05515-03004-07
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Stadt: Münster
Postleitzahl: 48128
Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)
Land: Deutschland
Telefon: +49 251411-1691
Fax: +49 251411-2165
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
10. Änderung
10.1.
Änderung
Abschnittskennung: PROCEDURE
Beschreibung der Änderungen: Die Angebotsfrist wurde um zwei Wochen vom 08.05.2026, 11:00 Uhr auf den 22.05.2026, 11:00 Uhr verlegt.
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ce47bcbe-9d76-448a-850a-52091c5da79c - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 21/04/2026 09:30:31 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 274500-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 78/2026
Datum der Veröffentlichung: 22/04/2026