Um das Plasma-Quellenkonzept "Mikrowellen-Einkopplung mittels Plasmastäben (2.45 MHz)" in dem sehr knapp bemessenen Bearbeitungszeitraum an der Fraunhofer EMFT evaluieren zu können, ist eine zeitnahe Herstellung und Integration in die an der EMFT dafür vorgesehene modifizierte Anlage zwingend erforderlich. Diese Quelle kann nur von HQ-Dielectrics (HQD) durchgeführt werden, da die für den Quellenkopf benötigten Plasmastäbe von HQD patentiert sind.