Beschreibung der Beschaffung
Anforderungen:
Zulässige Probenabmessungen min. 160x120x100 mm (LxBxH)
Zulässiges Probengewicht min. 2,5 kg (inkl. Verkippung)
Scangeschwindigkeit max. 25 ns/px bei 512x512 px
Emittertyp Schottky Feldemitter Kathode - gewünscht
Anregungsspannung min. 0,5 - 30 keV
Detektoren SE, BSE und EBSD
Auflösung in Hochvakuum (SE) max. 3 nm @ 30 keV, 6 nm @ 3 keV
Vergrößerungsbereich min. 10x bis 500.000x
Bildauflösung min. 6.000x8.000 px
Verfahrwege der
Mikroskopachsen XY: min. 75 mm, Z: min. 50 mm, R: endlos, T: min. -20Grad bis +90Grad
Vakuum Hochvakuum, <10-2 Pa
Weitere Funktionen
Modellbasierte Live-Kollisionskontrolle
Unterbrechungsfreie Stromversorgung
Vibrationsdämpfungssystem - gewünscht