298452-2025 - Wettbewerb
Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Lieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
OJ S 90/2025 12/05/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle BezeichnungNaMLab gGmbH
E-Maileinkauf@namlab.com
Rechtsform des ErwerbersOrganisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen AuftraggebersWirtschaftliche Angelegenheiten
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
TitelLieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
BeschreibungLieferung und Installation eines Dual Beam Sputter Systems
Kennung des Verfahrens0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2
Interne KennungNLB2025_05
VerfahrensartOffenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigtnein
2.1.1.
Zweck
Art des AuftragsLieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2.
Erfüllungsort
PostanschriftNöthnitzer Straße 64a  
StadtDresden
Postleitzahl01187
Land, Gliederung (NUTS)Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
LandDeutschland
Zusätzliche InformationenReinraum, 1. Stock im Gebäude
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende RechtsvorschriftEU Richtlinien
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der AusschlussgründeBekanntmachung
KorruptionAusgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage im Wettbewerbsregister
5. Los
5.1.
LosLOT-0001
TitelLieferung und Inbetriebnahme eines Dual Beam Sputter Systems
BeschreibungDie beabsichtigte Beauftragung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer neuen, nicht gebrauchten Zwei-Ionen-Strahl-Sputter-Prozessanlage engl. Dual Ion Beam Sputter System (DIBS), im Folgenden als die Prozessanlage bezeichnet. Die Prozessanlage soll für folgende Prozesse zur Erforschung von Materialien und mikroelektronischer Bauelemente genutzt werden: 1) die Abscheidung von hochwertigen, dichten, metallischen und nichtmetallischen dünnen Schichten von einem Materialtarget in einer Vakuumprozesskammer; 2) die Abscheidung dieser dünnen Schichten soll sowohl in einer nicht reaktiven als auch in einer reaktiven Atmosphäre durchführbar sein; 3) die Durchführung von Vorreinigungs- und Ionenstrahl-Ätzprozessen soll möglich sein. Die Prozessanlage wird im Zusammenhang mit der Herstellung von mikro- und nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt, so dass die Prozessanlage auch Wafer aus z.B. Silizium, GaN und SiC mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bearbeiten können muss. Die Anlage soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.
Interne KennungLOT-0001
5.1.1.
Zweck
Art des AuftragsLieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Menge1 Stück
5.1.2.
Erfüllungsort
PostanschriftNöthitzer Straße 64a  
StadtDresden
Postleitzahl01187
Land, Gliederung (NUTS)Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
LandDeutschland
Zusätzliche InformationenReinraum, 1. Stock im Gebäude
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit12 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesennein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignetnein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen AuftragsvergabeKeine strategische Beschaffung
5.1.8.
Zugänglichkeitskriterien
Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der EignungskriterienBekanntmachung
KriteriumEintragung in das Handelsregister
Beschreibung des EignungskriteriumsHandelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.

KriteriumFinanzkennzahlen
Beschreibung des EignungskriteriumsEigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.

KriteriumReferenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des EignungskriteriumsEigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.

KriteriumBerufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung des EignungskriteriumsEigenerklärung muss unterschrieben werden.
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten AuftragsunterlagenSchutz besonders sensibler Informationen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sindDeutsch
Informationen über zugangsbeschränkte Dokumente einsehbar unterhttps://www.evergabe.de/unterlagen/0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2/zustellweg-auswaehlen
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung
Elektronische EinreichungErforderlich
Adresse für die Einreichunghttps://www.evergabe.de/unterlagen/0196aa5a-6e9f-47df-8cd8-da609dc6a1a2/zustellweg-auswaehlen
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden könnenDeutsch
Elektronischer KatalogNicht zulässig
VariantenNicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichenNicht zulässig
Beschreibung der finanziellen SicherheitUnbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
Frist für den Eingang der Angebote13/06/2025 13:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss7 Wochen
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche InformationenDetails zu den Spezifikatonen; Informationen zum Unternehmen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung
Eröffnungstermin13/06/2025 14:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Auftragsbedingungen
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgenNein
Elektronische RechnungsstellungZulässig
Aufträge werden elektronisch erteiltja
Zahlungen werden elektronisch geleistetja
Finanzielle VereinbarungZahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 %. Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstelltNaMLab gGmbH
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstelltNaMLab gGmbH
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle BezeichnungNaMLab gGmbH
RegistrierungsnummerHRB 24890
PostanschriftNöthnitzer Straße 64 a
StadtDresden
Postleitzahl01187
Land, Gliederung (NUTS)Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
LandDeutschland
KontaktpersonEinkauf
E-Maileinkauf@namlab.com
Telefon+49 21249900
Internetadressehttps://www.namlab.com
Profil des Erwerbershttps://www.evergabe.de
Rollen dieser Organisation
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Registrierungsnummerkeine Angabe
PostanschriftBraustraße 2
StadtLeipzig
Postleitzahl04107
Land, Gliederung (NUTS)Leipzig (DED52)
LandDeutschland
E-Mailwiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de
Telefon+49 3419771040
Internetadressehttps://www.lds.sachsen.de
Rollen dieser Organisation
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle BezeichnungDatenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer0204:994-DOEVD-83
StadtBonn
Postleitzahl53119
Land, Gliederung (NUTS)Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
LandDeutschland
E-Mailnoreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon+49228996100
Rollen dieser Organisation
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung0196aa5e-fbde-46a7-9721-34317a25636f  -  01
FormulartypWettbewerb
Art der BekanntmachungAuftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung08/05/2025 11:06:45 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar istDeutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung298452-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe90/2025
Datum der Veröffentlichung12/05/2025