Die cPlasma PECVD im PVTEC-FE (Project 84373) soll umgerüstet werden, um auch Wafergrößen bis zu G12 beschichten zu können. Eine Anpassung wird erforderlich, da
die Industrie im Moment ebenfalls auf größerer Waferformate umstellt.
Für die Funktion der Anlage nach der Umrüstung, muss auch der Waferhandler von Jonas & Redmann (Nr.: 5001003114) der zur Anlage gehört umgebaut werden, um die neuen Waferformate und Boote handeln zu können. Die Umrüstung erfordert den Austausch anlagenspezifischer Teile, die von J&R speziell für diese Anlagen Typen hergestellt werden. Des Weiteren müssen die Anlagenteile untereinander und mit der
Steuersoftware kommunizieren. Ebenso muss die Steuersoftware für die neuen Waferformate und Boote angepasst werden. Diese Software ist nicht öffentlich verfügbar und kann nur von J&R angepasst werden. Es ist daher nicht möglich das Upgrade von einer anderen Firma durchführen zu lassen.