310012-2021 - ErgebnisDeutschland-München: Werkzeugmaschinen für die Bearbeitung von harten Stoffen, außer Metallen
OJ S 118/2021 21/06/2021
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität München
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
E-Mail: ralf.meyer@wsi.tum.de
Telefon: +49 89289-11590
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.tum.de/
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Beschaffung eines Systems aus Aligner und Bonder zum Verbinden von Halbleiter-Wafern und Wafer-Stücken
Referenznummer der Bekanntmachung: 007/2021
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
42640000 Werkzeugmaschinen für die Bearbeitung von harten Stoffen, außer Metallen
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Ein System aus Aligner und Bonder für Halbleiter-Wafer mit der Möglichkeit ganze Wafer bis zu einem Durchmesser von 3" (75 mm), aber auch Wafer-Stücke bis herunter zu einer Größe von ca. 1 × 1 cm2 mittels verschiedener Prozesse und hoher Justagegenauigkeit zu Bonden. Erforderliche Prozesse: Metall-Metall-Bonden mittels Thermokompression, sowie adhesive und direct Bonding; Justagegenauigkeit zwischen Probe und Trägersubstrat wenigstens 5 μm.
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7.
Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 350 000,00 EUR
II.2.
Beschreibung
II.2.2.
Weitere(r) CPV-Code(s)
42640000 Werkzeugmaschinen für die Bearbeitung von harten Stoffen, außer Metallen
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
Ein System aus Aligner und Bonder für Halbleiter-Wafer mit der Möglichkeit ganze Wafer bis zu einem Durchmesser von 3" (75 mm), aber auch Wafer-Stücke bis herunter zu einer Größe von ca. 1 × 1 cm2 mittels verschiedener Prozesse und hoher Justagegenauigkeit zu Bonden. Erforderliche Prozesse: Metall-Metall-Bonden mittels Thermokompression, sowie adhesive und direct Bonding; Justagegenauigkeit zwischen Probe und Trägersubstrat wenigstens 5 μm.
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Preis
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 055-136447
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2.
Auftragsvergabe
V.2.1.
Tag des Vertragsabschlusses
17/05/2021
V.2.2.
Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3.
Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: SUSS MicroTec Lithography GmbH
Postanschrift: Schleissheimer Str. 90
Ort: Garching
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland
E-Mail: info@suss.com
Telefon: +49 8932007-0
Internet-Adresse: http://www.suss.com
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4.
Angaben zum Wert des Auftrags/Loses
Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 350 000,00 EUR
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 350 000,00 EUR
V.2.5.
Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXP4YK0R689.
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern — Vergabekammer Südbayern
Ort: München
Land: Deutschland
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
16/06/2021