1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 ) - PR876527-2690-P
Beschreibung: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 )
Kennung des Verfahrens: 6ac00ae5-0c9c-4407-b883-2638f9aede96
Interne Kennung: PR876527-2690-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38511100 Rasterelektronenmikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38512100 Ionenmikroskope
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.5.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Höchstzahl der Lose, für die ein Bieter Angebote einreichen kann: 2
Auftragsbedingungen:
Höchstzahl der Lose, für die Aufträge an einen Bieter vergeben werden können: 2
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Korruption:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrug:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Zahlungsunfähigkeit:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Los 1: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1)
Beschreibung: Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Anwendungsverhalten, die Zuverlässigkeit, Sicherheit und Lebensdauer innovativer Materialien in Komponenten und Systemen. Der Geschäftsbereich "Elektronische Materialien und Komponenten" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner mit seiner international anerkannten Expertise in der Fehleranalyse elektronischer Komponenten. Das Fraunhofer IMWS wird seine Fähigkeiten in der fortgeschrittenen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung ausbauen, um die Entwicklung neuer heterogener Integrationstechnologien zu unterstützen und so die Herausforderungen in Fertigung und Zuverlässigkeit zu bewältigen. Das Fraunhofer IMWS verfügt über umfassende Erfahrung in der Anwendung und Entwicklung zerstörungsfreier thermischer Defektlokalisierungsverfahren für die Fehleranalyse, insbesondere bei Halbleitern für die Automobilelektronik, wo präzise zerstörungsfreie Prüfungen unerlässlich sind. Dank seiner langjährigen Erfahrung in der Entwicklung von Lock-in-Thermografieverfahren (LIT) und der Entwicklung fortschrittlicher Methoden zur Signalverarbeitung hat das Fraunhofer IMWS die Grenzen der LIT-Technologie kontinuierlich erweitert, um Auflösung und Empfindlichkeit zu verbessern, insbesondere für 2,5D-/3D-Bildgebung und moderne Verpackungsanwendungen. Um die Fehlerlokalisierungsmöglichkeiten bei 3D-Bauelementen und IC-Stacks weiter zu verbessern, ist die Integration eines kombinierten Lock-In-Thermografie- (LIT) und OBIRCH-Messsystems (Optical Beam Induced Resistance Change) geplant. Dies ermöglicht eine präzise Fehlerlokalisierung von Defekten mit thermischer Emission und zusätzlich die Lokalisierung von Fehlern ohne ausreichende thermische Emission, aber mit elektrischer Empfindlichkeit während einer optischen Anregung. Das System soll für die Entwicklung eigener Anwendungen zur erweiterten Signalverarbeitung der Messwerte offen sein, um die Empfindlichkeit und Auflösung bei 3D- und gestapelten Bauelementen zu verbessern. Diese Ausschreibung umfasst die Lieferung eines kombinierten LIT- und OBIRCH-Messsystems, einschließlich optionaler Funktionen, Software-Support, Dokumentation, Lieferung, Abnahmeprüfung und Garantie.
Interne Kennung: LOT-0001
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38511100 Rasterelektronenmikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38512100 Ionenmikroskope
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 14 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Finanzkennzahlen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens:
Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 3
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: technische Anforderungen
Beschreibung: technische Anforderungen
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 27/05/2025 10:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
5.1.
Los: LOT-0002
Titel: Los 2: SEM Scanning Electron Microscope (IMWS-3.1)
Beschreibung: Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Anwendungsverhalten, die Zuverlässigkeit, Sicherheit und Lebensdauer innovativer Materialien in Komponenten und Systemen. Der Geschäftsbereich "Elektronische Materialien und Komponenten" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner mit seiner international anerkannten Expertise in der Fehleranalyse elektronischer Komponenten. Das Fraunhofer IMWS wird seine Fähigkeiten in der fortgeschrittenen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung erweitern, um die Entwicklung neuer heterogener Integrationstechnologien zu unterstützen und so die Herausforderungen in Fertigung und Zuverlässigkeit zu bewältigen. Das Elektronenstrahl-Prober-System wird für die elektrische Fehlerisolierung moderner integrierter Schaltungen (unter 20 nm-Knoten) benötigt, ähnlich wie laserbasierte Prüfverfahren mit hochfrequenter aktiver Spannungskontrastdetektion mit nm-Auflösung. Die Hauptanwendung ist die Prüfung elektrischer Signale auf Transistorebene und das Auslesen logischer Zustände in IC-Strukturen und flüchtigen Speicherarrays, um Funktionsfehler zu identifizieren und Belastbarkeitstests gesicherter IC-Funktionen durchzuführen. Ein komplettes funktionsfähiges Elektronenstrahl-Prober-System soll inklusive Montage, Inbetriebnahme und allen notwendigen Anschlüssen, Teilen und Zulassungen/Zertifizierungen für den Betrieb angeboten werden. Die Komponenten und spezifischen Anforderungen sind unten aufgeführt.
Interne Kennung: LOT-0002
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38511100 Rasterelektronenmikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38512100 Ionenmikroskope
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 13 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Finanzkennzahlen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens:
Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 3
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: technische Anforderungen
Beschreibung: technische Anforderungen
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 27/05/2025 10:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
10. Änderung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 99dbaf74-1bf8-467d-96fa-b3ed38af51b9 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 15/05/2025 18:40:37 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 321866-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 95/2025
Datum der Veröffentlichung: 19/05/2025