Beschreibung der Beschaffung
Fertigung und Lieferung eines Positioniersystems für flexible und präzise Justierung von Instrumenten unter Vakuum.
Einsatzbedingungen
a. Positioniersystem in der Vakuumkammer:
i. Temperaturbereich von 19 °C bis 26 °C
ii. Einsatz im Druckbereich von 1*10^-6 mbar bis 1,1 bar.
iii. Ausschließlich vakuumtaugliche Werkstoffe für den Einsatz bei ≤ 1*10^-6 mBar verbaut.
b. Ansteuerungselektronik außerhalb der Vakuumkammer:
i. Temperaturbereich von 19 °C bis 26 °C
ii. Rel. Luftfeuchtigkeit > 10% (nicht kondensierend)