359041-2023 - ErgebnisDeutschland-Frankfurt (Oder): Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
OJ S 115/2023 16/06/2023
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH
Nationale Identifikationsnummer: 2022/S 199-562312
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ihp-microelectronics.com
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Spin Spray Tool for Acid Cleaning Batch Processes on 200mm wafers with III-V Materials
Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2022-124
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Reinigungs- und Ätzanlage für neue III-V-Materialien im Reinraum
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7.
Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 1 114 386,00 EUR
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
Reinigungs- und Ätzanlage für neue III-V-Materialien im Reinraum
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Kostenkriterium - Name: Preis / Gewichtung: 40%
Kostenkriterium - Name: Sicherheitskonzept der Anlage in Bezug auf das IHP (z.B. Möglichkeit der Freisetzung von gefährlichen Stoffen und deren Schutzmaßnahmen und Überwachung) / Gewichtung: 6%
Kostenkriterium - Name: Anzahl von Fill Vessels und Tanks / Gewichtung: 6%
Kostenkriterium - Name: Maximale Flexibilität der möglichen Prozesse und Prozessparameter, Steuerung der Prozessparameter auf Rezeptbasis / Gewichtung: 6%
Kostenkriterium - Name: Trocknungsmöglichkeit (Dry-in, Dry-out) / Gewichtung: 15%
Kostenkriterium - Name: Prozesskammer kompatibel mit möglichst vielen Chemikalien (SC1, SC2, Piranha, HCl+H3PO4, NOE+EG). Prozesskammer Temperaturbeständigkeit bis 100°C / Gewichtung: 21%
Kostenkriterium - Name: Maße der Anlage (lt. LV) / Gewichtung: 6%
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 199-562312
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 2230315
Bezeichnung des Auftrags:
Spin Spray Tool for Acid Cleaning Batch Processes on 200mm wafers
Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2.
Auftragsvergabe
V.2.1.
Tag des Vertragsabschlusses
15/02/2023
V.2.2.
Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3.
Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Siconnex customized solutions GmbH
Ort: Hof bei Salzburg
NUTS-Code: AT323 Salzburg und Umgebung
Land: Österreich
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4.
Angaben zum Wert des Auftrags/Loses
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 1 114 386,00 EUR
V.2.5.
Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
VI.4.2.
Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com
Telefon: +49 335-5625-359
Fax: +49 335-5625-25359
VI.4.4.
Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com
Telefon: +49 335-5625-359
Fax: +49 335-5625-25359
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
12/06/2023