365129-2025 - Wettbewerb
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Plasma Ashing System
OJ S 107/2025 05/06/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle BezeichnungWalther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
E-MailStefan.Filipp@wmi.badw.de
Rechtsform des ErwerbersVon einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen AuftraggebersBildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
TitelPlasma Ashing System
BeschreibungThe Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Kennung des Verfahrens5b0523ad-2b6c-48bf-bea6-5c7a87d9e7ea
Interne KennungBAdW-WMI-2025-1
VerfahrensartOffenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigtnein
2.1.1.
Zweck
Art des AuftragsLieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
PostanschriftWalther-Meissner-Str. 8  
StadtGarching
Postleitzahl85748
Land, Gliederung (NUTS)München, Landkreis (DE21H)
LandDeutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche InformationenBekanntmachungs-ID: CXP4YZ85Z10
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der AusschlussgründeBekanntmachung
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung
Betrug
Korruption
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen
Zahlungsunfähigkeit
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren
5. Los
5.1.
LosLOT-0001
TitelPlasma Ashing System
Beschreibungsiehe Leistungsbeschreibung.
Interne KennungBAdW-WMI-2025-1
5.1.1.
Zweck
Art des AuftragsLieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
PostanschriftWalther-Meissner-Str. 8  
StadtGarching
Postleitzahl85748
Land, Gliederung (NUTS)München, Landkreis (DE21H)
LandDeutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere LaufzeitUnbegrenzt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesenja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignetnein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen AuftragsvergabeKeine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der EignungskriterienBekanntmachung
KriteriumReferenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des EignungskriteriumsFolgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.).

KriteriumAllgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung des EignungskriteriumsFolgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärung zum Umsatz des Unternehmens in EUR netto jeweils in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit er Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind unter Einschluss des Anteils bei gemeinsam mit anderen Unternehmen ausgeführten Leistungen

KriteriumEintragung in ein relevantes Berufsregister
Beschreibung des EignungskriteriumsFolgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot einzureichen: -Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren Verhalten dem Unternehmen desBieters zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt oder gegen das Unternehmen eine Geldbuße nach § 30 desGesetzes über Ordnungswidrigk. rechtskräftig festgesetzt worden ist, jeweils wegen einer Straftat nach: - § 129 des Strafgesetzbuchs (Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetz-buchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen imAusland), - § 89c des Strafgesetzbuchs (Terrorismusfinanzierung) oder wegen d. Teilnahme an einer solchen Tat oderwegen d. Bereitstellung o. Sammlung fin. Mittel in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz 3 / 5 oderteilweise dazu verwendet werden oder verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 desStrafgesetzbuchs zu begehen, - § 261 des Strafgesetzbuchs (Geldwäsche; Verschleierung unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte), - § 263 des Strafgesetzbuchs (Betrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU oder gegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden, - § 264 des Strafgesetzbuchs (Subventionsbetrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU odergegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden, - § 299 des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr), - § 108e des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung von Mandatsträgern), - den §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuchs (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils a. in Verbindung mit §335a des Strafgesetzbuchs (Ausländische und internationale Bedienstete), - Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internat. Bestechung (Bestechung ausl. Abgeordneter imZusammenhang mit internat. Geschäftsverkehr) oder - den §§ 232 und 233 des Strafgesetzbuchs (Menschenhandel) oder § 233a des Strafgesetzbuchs (Förderungdes Menschenhandels). - Eigenerkl., dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben sowie der Beiträge zur Sozialversicherung nachgekommen ist (§ 123 Abs. 4 GWB). - Eigenerkl. (gemäß § 124 Abs. 1 Nrn. 1-4, 7 GWB), dass - weder das Unt. des Bieters noch eine Person, deren Verhalten dem Unternehmen zuzurechnen ist, bei der Ausführung öff. Aufträge gegen geltende umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche Verpfl. verst. hat, - das Unternehmen des Bieters nicht zahlungsunfähig ist/sind, über das Vermögen des Unternehmen kein Insolvenzverf. oder ein vergleichbares Verf. beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse nicht abge-lehnt worden ist, und sich das Unternehmen nicht im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat, - weder das Unternehmen noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, im Rahmen der berufl.Tätigkeit eine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität d. Unternehmens infrage gestellt wird, - weder das Unt. noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, Vereinb. mit anderen Unternehmen getroffen hat, die eine Verhinderung, Einschränkung oder Verfälschung des Wettbewerbsbezwecken oder bewirken, - das Unternehmen nicht eine wesentliche Anforderung bei der Ausf. eines früheren öff. Auftrags o.Konzessionsvertrags erheblich oder fortd. mangelh. erfüllt hat und dies zu einer vorzeitigen Beendigung, zuSchadensersatz oder zu einer vergleichb. Rechtsf. geführt hat. -Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 21 Abs. 1 Nrn. 1-4 SchwarzArbG - Eigenerkl. ü. Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft oder einer Berufsgen. oder einer vergleichbarenUnfallvers. d. Herkunftsl. d. Bieters - Eigenerkl. ü. d. Eintr. i. d. Berufs- o. Handelsregister. o. e. vergl. Reg. d. Herkunftsst. d. Bieters.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium
ArtQualität
BezeichnungTechnische Spezifikationen
Beschreibungsiehe Vergabeunterlagen.
Kriterium
ArtPreis
BezeichnungPreis
Beschreibungsiehe Vergabeunterlagen.
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kannsiehe Vergabeunterlagen.
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sindDeutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen04/07/2025 23:59:59 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Internetadresse der Auftragsunterlagenhttps://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal
URLhttps://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung
Elektronische EinreichungErforderlich
Adresse für die Einreichunghttps://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden könnenDeutschEnglisch
Elektronischer KatalogErforderlich
VariantenNicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichenNicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote11/07/2025 12:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss45 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationensiehe Vergabeunterlagen.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung
Eröffnungstermin11/07/2025 12:01:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Ort des EröffnungsterminsGarching, Deutschland
Auftragsbedingungen
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgenNein
Bedingungen für die Ausführung des Auftragssiehe Vergabeunterlagen.
Elektronische RechnungsstellungZulässig
Aufträge werden elektronisch erteiltnein
Zahlungen werden elektronisch geleistetnein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
SchlichtungsstelleRegierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
ÜberprüfungsstelleRegierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstelltWalther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstelltRegierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmtWalther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle BezeichnungWalther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
RegistrierungsnummerDE811209280
PostanschriftWalther-Meissner-Str. 8
StadtGarching
Postleitzahl85748
Land, Gliederung (NUTS)München, Landkreis (DE21H)
LandDeutschland
KontaktpersonWalther-Meissner-Institut
E-MailStefan.Filipp@wmi.badw.de
Telefon+48 89289-14201
Fax+49 89289-14206
Internetadressehttps://www.wmi.badw.de
Profil des Erwerbershttps://www.wmi.badw.de
Rollen dieser Organisation
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1.
ORG-0002
Offizielle BezeichnungRegierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
RegistrierungsnummerDE811335517
PostanschriftMaximilianstraße 39
StadtMünchen
Postleitzahl80538
Land, Gliederung (NUTS)München, Kreisfreie Stadt (DE212)
LandDeutschland
KontaktpersonZentrale Vergabestelle, IuK
E-Mailvergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de
Telefon+49 892176-2411
Fax+49 892176-2847
Internetadressehttps://www.regierung.oberbayern.bayern.de/
Rollen dieser Organisation
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle BezeichnungDatenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer0204:994-DOEVD-83
StadtBonn
Postleitzahl53119
Land, Gliederung (NUTS)Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
LandDeutschland
E-Mailnoreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon+49228996100
Rollen dieser Organisation
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachunge2933cae-386d-4f10-a4a8-75fc250afd2c  -  01
FormulartypWettbewerb
Art der BekanntmachungAuftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung04/06/2025 09:31:22 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar istDeutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung365129-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe107/2025
Datum der Veröffentlichung05/06/2025