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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Upgrade BEOL etching system (IPMS-CNT05.2) - PR874835-2480-P
Beschreibung: Upgrade BEOL etching system (IPMS-CNT05.2)
Kennung des Verfahrens: 42e6c59a-63ba-43c4-98bb-7a7b5c3c48d3
Interne Kennung: PR874835-2480-P
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Upgrade BEOL etching system (IPMS-CNT05.2) - PR874835-2480-P
Beschreibung: 1 Stück Upgrade BEOL etching system (IPMS-CNT05.2) Eine Prozesskammer für Plasmaätzprozesse auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm, die auf einem bestehenden Cluster-Tool "Tokyo Elecron TACTRAS" des Fraunhofer IPMS CNT aufgerüstet werden soll. Optionale Leistungspositionen: 6.12 Beschreibung der Prozesskammer esc Temperatur über Rezepturschritt einstellbar ja / nein; bitte angeben 6.24 Prozesskonfiguration, optional Oxidätzen mit Resistmaske (wie für TSV-Mid-Anwendungen) ja / nein; bitte angeben 6.25 Prozesskonfiguration, optional ARC-Ätzen ja / nein; bitte angeben 7.19 Prozessspezifikationen / optionale Prozesse Starterezept für SiO2-Ätzen mit Fotolackmaske auf 500 nm Top CD, 600 nm Fotolack bereitstellen ja / nein; bitte angeben 7.20 Prozessspezifikationen / optionale Prozesse Starterezept für ARC-Ätzen mit Fotolackmaske auf 500 nm Top CD, 600 nm Fotolack bereitstellen ja / nein; bitte angeben 8.10 Gas-Tabelle Hauptgase (Option) SiF4 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.11 Gas-Tabelle Hauptgase (Option) Cl2 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.15 Gas-Tabelle Seitengase (Option) CF4 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.16 Gas-Tabelle Seitengase (Option) SiCl4 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.17 Gas-Tabelle Nebengase (Option) Ar ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.18 Gas-Tabelle Nebengase (Option) NF3 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.19 Gas-Tabelle Nebengase (Option) C4F8 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.20 Gase auf der Gassentischseite (Option) CH2F2 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 15.1 optional angebotene Funktionen Erweiterte Gaskonfiguration wie unter "Gase auf der Gassentischseite (Option)" und "Gase auf der Gassentischseite (Option)" beschrieben ja/nein 15.2 optional angebotene Funktionen Hochtemperatur-Kit (Teileliste + Preis) ja/nein 15.3 optional angebotene Funktionen empfohlenes Ersatzteil-Kit ja/nein 15.4 optional angebotene Funktionen HF-Kalibrierungs-Kit für 27-MHz-Quellengenerator und 13-MHz-Bias-Generator (außer Scheinlast) ja/nein 15.5 optional angebotene Funktionen Vakuumpumpen (Vorvakuumpumpe) für Prozesskammer, sofern nicht generell im System enthalten ja/nein
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Alleinstellungsmerkmal
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Tokyo Electron Europe Limited
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert des Angebots: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 29/05/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Tokyo Electron Europe Limited
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: -
Postanschrift: Pioneer, Crawley Business Quarter, Fleming Way
Stadt: Crawley
Postleitzahl: RH10 9QL
Land: Vereinigtes Königreich
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: c786f764-52da-4207-93ba-8ac144f5c1d5 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 29/05/2026 14:09:06 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 374703-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 103/2026
Datum der Veröffentlichung: 01/06/2026