1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten
Beschreibung: Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.
Kennung des Verfahrens: 13dcfc3d-4f30-4783-ab35-fef4567ee680
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Zürich ETH Hönggerberg
Postleitzahl: 8093
Land, Gliederung (NUTS): Zürich (CH040)
Land: Schweiz
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Sonstige Anforderungen Vorbehalten bleiben die Beschaffungsreife des Projektes sowie die Verfügbarkeit der Kredite.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten
Beschreibung: Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Optionen:
Beschreibung der Optionen: gemäss Ausschreibungsunterlagen
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Zürich ETH Hönggerberg
Postleitzahl: 8093
Land, Gliederung (NUTS): Zürich (CH040)
Land: Schweiz
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.4.
Verlängerung
Maximale Verlängerungen: 0
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Noch nicht bekannt
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Auftragsunterlagen
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Zuschlagskriterien
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Die Zuschlagskriterien sind in den Dokumenten definiert.
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
Name: Simap.ch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 12/07/2026 18:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 180 Tage
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Noch nicht bekannt
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Weitere Angaben in der offiziellen Publikation auf simap.ch
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Finanzielle Vereinbarung: Weitere Angaben in der offiziellen Publikation auf simap.ch
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Bundesverwaltungsgericht
Informationen über die Überprüfungsfristen: Rechtsmittelbelehrung Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen. Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Registrierungsnummer: 894f1883-0c3c-42a8-b58c-ef232d567cf1
Postanschrift: Binzmühlestrasse 130
Stadt: Zürich
Postleitzahl: 8092
Land, Gliederung (NUTS): Zürich (CH040)
Land: Schweiz
Telefon: +41446321111
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Bundesverwaltungsgericht
Registrierungsnummer: BVGER
Postanschrift: Postfach
Stadt: St. Gallen
Postleitzahl: 9023
Land, Gliederung (NUTS): St. Gallen (CH055)
Land: Schweiz
Telefon: +41584652626
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Simap.ch
Registrierungsnummer: CH001
Postanschrift: Holzikofenweg 36
Stadt: Bern
Postleitzahl: 3003
Land, Gliederung (NUTS): Bern / Berne (CH021)
Land: Schweiz
Telefon: +41584646388
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 757d032f-7cb1-4bbe-8b0d-3d39d0a37fc9 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 01/06/2026 02:25:55 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Französisch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 377893-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 104/2026
Datum der Veröffentlichung: 02/06/2026