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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage zur REM-Probenpräparation mit Zubehör
Beschreibung: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage mit umfangreichem Zubehör zur Präparation höchstqualitativer Aufsicht- und Querschnittsproben für die Rasterelektronenmikroskopie (REM). Die Ionenätzanlage wird für die Präparationslabore des hochschulzentralen, DFG-geförderten Gerätezentrums für Mikro- und Nanoanalytik (MNaF) im INCYTE-Forschungsneubau der Universität Siegen beschafft und steht den Mitgliedern der Naturwissenschaftlich-Technischen und Lebenswissenschaftlichen Fakultäten wie auch hochschulexternen MNaF-Nutzern (Forschungseinrichtungen, Industrie) und den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cμ), dem Center for Innovative Materials (Cm) zur Verfügung. Das Präparationsgerät dient in den Forschungsschwerpunkten der Materialwissenschaften, der Bauelementforschung sowie der Forschung an biologischen Proben der Präparation von großflächigen Aufsichts-/Querschnitts-REM-Proben höchster Güte für weiterführende mikro- und nanoanalytische Messungen mittels REM- und Rastersondenmethoden. Die an der Universität adressierten Materialien und zu präparierenden Proben reichen von metallischen Werkstoffen der additiven Fertigung sowie Kompositwerkstoffen mit äußerst heterogenen und komplexen Gefügen über teils hochreaktive/umgebungsempfindliche Energiewandler/-speicher und verwandte Bauelemente zu integrierten Halbleiterbauelementen und Sensorprototypen. Biologische Proben wie eingebettete Insekten und organische Beschichtungen werden in der Biochemie adressiert. Aufgrund der Probenvielfalt am Gerätezentrum soll eine remote zu betreibende, hocheffiziente und im Betrieb möglichst günstige (Verbrauchsmittel, Verschleißteile) Ionenätzanlage mit möglichst breitem Einsatzspektrum beschafft werden, die die Präparation von Proben höchster Oberflächengüte z.B. für EBSD-Messungen aller adressierten kristallinen Proben erlaubt; darunter fallen vor allem auch hochreaktive/strahlempfindliche Werkstoffe am für solche Probenarten spezialisierten MNaF. - Das zu beschaffende Geräte verfügt daher nicht nur über eine umfangreiche Ausrüstung für die Probenaufnahme, Masken sowie notwendiges Zubehör für die Präparation höchst unterschiedlicher Probenarten und -geometrien (Volumen-/Folienproben) für die Aufsicht- und Querschnittspräparation. - Es erlaubt zudem die schnelle cryogene Kühlung der Proben mittels flüssigen Stickstoffs sowie den Vakuumtransfer von Proben in eine Inertgas-Glovebox, um solche Proben weiter zu Prozessieren oder aus der Glovebox möglichst schädigungsfrei in die Ionenätzanlage einzubringen. - Für die in Siegen untersuchten Bauelemente und komplexen Strukturwerkstoffe z.B. der additiven Fertigung mit Strukturvariationen auf der mm- und cm-Skala sind möglichst große realisierbare Präparationsflächen(mind. 30mm sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht ) gefordert, - die in einem breiten Energiebereich mit großer Geschwindigkeit abgetragen und bei niedrigen Ionenenergien unterhalb 1 kV poliert werden können. - Für die systematische automatisierte Präparation von Probenserien z.B in Industrieprojekten ist des Weiteren die Serienpräparation von mindestens 5 Proben mit einer Gerätebeladung gefordert, um den Personalaufwand beim Probenwechsel zu reduzieren und Arbeitsabläufe zu optimieren. - Eingebettete Standard-REM-Proben mit Durchmessern von bis zu 2“ Standardmaß müssen zur Oberflächen-Nachpolitur ins Gerät eingebracht werden können.
Kennung des Verfahrens: ea877222-c3ae-43be-b538-ce566b4b2031
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage zur REM-Probenpräparation mit Zubehör
Beschreibung: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage mit umfangreichem Zubehör zur Präparation höchstqualitativer Aufsicht- und Querschnittsproben für die Rasterelektronenmikroskopie (REM). Die Ionenätzanlage wird für die Präparationslabore des hochschulzentralen, DFG-geförderten Gerätezentrums für Mikro- und Nanoanalytik (MNaF) im INCYTE-Forschungsneubau der Universität Siegen beschafft und steht den Mitgliedern der Naturwissenschaftlich-Technischen und Lebenswissenschaftlichen Fakultäten wie auch hochschulexternen MNaF-Nutzern (Forschungseinrichtungen, Industrie) und den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cμ), dem Center for Innovative Materials (Cm) zur Verfügung. Das Präparationsgerät dient in den Forschungsschwerpunkten der Materialwissenschaften, der Bauelementforschung sowie der Forschung an biologischen Proben der Präparation von großflächigen Aufsichts-/Querschnitts-REM-Proben höchster Güte für weiterführende mikro- und nanoanalytische Messungen mittels REM- und Rastersondenmethoden. Die an der Universität adressierten Materialien und zu präparierenden Proben reichen von metallischen Werkstoffen der additiven Fertigung sowie Kompositwerkstoffen mit äußerst heterogenen und komplexen Gefügen über teils hochreaktive/umgebungsempfindliche Energiewandler/-speicher und verwandte Bauelemente zu integrierten Halbleiterbauelementen und Sensorprototypen. Biologische Proben wie eingebettete Insekten und organische Beschichtungen werden in der Biochemie adressiert. Aufgrund der Probenvielfalt am Gerätezentrum soll eine remote zu betreibende, hocheffiziente und im Betrieb möglichst günstige (Verbrauchsmittel, Verschleißteile) Ionenätzanlage mit möglichst breitem Einsatzspektrum beschafft werden, die die Präparation von Proben höchster Oberflächengüte z.B. für EBSD-Messungen aller adressierten kristallinen Proben erlaubt; darunter fallen vor allem auch hochreaktive/strahlempfindliche Werkstoffe am für solche Probenarten spezialisierten MNaF. - Das zu beschaffende Geräte verfügt daher nicht nur über eine umfangreiche Ausrüstung für die Probenaufnahme, Masken sowie notwendiges Zubehör für die Präparation höchst unterschiedlicher Probenarten und -geometrien (Volumen-/Folienproben) für die Aufsicht- und Querschnittspräparation. - Es erlaubt zudem die schnelle cryogene Kühlung der Proben mittels flüssigen Stickstoffs sowie den Vakuumtransfer von Proben in eine Inertgas-Glovebox, um solche Proben weiter zu Prozessieren oder aus der Glovebox möglichst schädigungsfrei in die Ionenätzanlage einzubringen. - Für die in Siegen untersuchten Bauelemente und komplexen Strukturwerkstoffe z.B. der additiven Fertigung mit Strukturvariationen auf der mm- und cm-Skala sind möglichst große realisierbare Präparationsflächen gefordert, - die in einem breiten Energiebereich mit großer Geschwindigkeit abgetragen und bei niedrigen Ionenenergien unterhalb 1 kV poliert werden können. - Für die systematische automatisierte Präparation von Probenserien z.B in Industrieprojekten ist des Weiteren die Serienpräparation von mindestens 5 Proben mit einer Gerätebeladung gefordert, um den Personalaufwand beim Probenwechsel zu reduzieren und Arbeitsabläufe zu optimieren. - Eingebettete Standard-REM-Proben mit Durchmessern von bis zu 2“ Standardmaß müssen zur Oberflächen-Nachpolitur ins Gerät eingebracht werden können. Technisches Anforderungen - ***Argon-Ionenätzanlage mit Kryo-Kühlfunktion und Vakuumtransfersystem für die Querschnitt-/Aufsichtpräparation verschiedenster REM-Proben - ***eine Hochleistungs-Ar-Ionenkanone mit hoher Abtragsrate (Si-Abtragsrate >= 1000 µm/h) und breitem Primärenergiebereich von mindestens 500 eV – 8 keV - vollständige Ausrüstung für den fernüberwachten Remotebetrieb zur Prüfung des Ätzfortschritts sowie zur Kontrolle des Ätzprozesses (von anderen Standorten aus) (beinhaltet nicht nur Softwaresteuerung, sondern auch Mikroskop/Kamera zur Probenbewertung) - ***mind. 30mm große Breite des Präparationsfeldes bei Einzelproben (Bauelemente, additiv gefertigte Bauteile) - ***minimale Oberflächenartefakte wie Curtaining durch qualifizierte Orientierungsmodulation der Probe während des Ätzvorgangs - ***mind. 5 Proben bei sequenzieller Mehrfachpräparation von Probenserien mit einer Gerätebeladung (Einsparung von Personalaufwand) - ***Notwendiges Zubehör wie Probenhalter zur Aufnahme von möglichst großen Probenblöcken (großen zu präparierenden Stirnflächen) und Folien für die Querschnittspräparation sowie von eingebetteten REM-Proben von bis zu 2“ Durchmesser; Probenhalter zur Präparation unter kryogenen Bedingungen; Probenhalter zur sequenziellen Mehrfachpräparation mit einer Gerätebeladung; Masken zur Probenpräparation Neben den notwendigen Grundfunktionalitäten (auch Kühlen, Vakuumtransfer) spielten bei der Entscheidungsfindung vor allem die erreichbare Probengüte, die Mindestgröße von 30mm von Präparationsflächen sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht sowie maximale Größen einsetzbarer Proben entscheidende Rollen.
Interne Kennung: 02-NL24EVV
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: Informationen über die Überprüfungsfristen: Der Vertrag wird frühestens 10 Kalendertage nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung geschlossen werden (§ 135 Abs. 3S. 1 Nr. 3 GWB).
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Technisches Anforderungen - günstige Präparationskosten pro Probe (basierend auf Kostenschätzungen der Hersteller sowie eigener Bewertung der technischen Realisierung des Ätzprozesses und der Maskengeometrie unter Berücksichtigung der Folgekosten für Verbrauchsmittel wie Blenden) - ***Argon-Ionenätzanlage mit Kryo-Kühlfunktion und Vakuumtransfersystem für die Querschnitt-/Aufsichtpräparation verschiedenster REM-Proben - ***eine Hochleistungs-Ar-Ionenkanone mit hoher Abtragsrate (Si-Abtragsrate >= 1000 µm/h) und breitem Primärenergiebereich von mindestens 500 eV – 8 keV - vollständige Ausrüstung für den fernüberwachten Remotebetrieb zur Prüfung des Ätzfortschritts sowie zur Kontrolle des Ätzprozesses (von anderen Standorten aus) (beinhaltet nicht nur Softwaresteuerung, sondern auch Mikroskop/Kamera zur Probenbewertung) - ***mind. 30mm große Breite des Präparationsfeldes bei Einzelproben (Bauelemente, additiv gefertigte Bauteile) - ***minimale Oberflächenartefakte wie Curtaining durch qualifizierte Orientierungsmodulation der Probe während des Ätzvorgangs - ***mind. 5 von Proben bei sequenzieller Mehrfachpräparation von Probenserien mit einer Gerätebeladung (Einsparung von Personalaufwand) - ***Notwendiges Zubehör wie Probenhalter zur Aufnahme von möglichst großen Probenblöcken (großen zu präparierenden Stirnflächen) und Folien für die Querschnittspräparation sowie von eingebetteten REM-Proben von bis zu 2“ Durchmesser; Probenhalter zur Präparation unter kryogenen Bedingungen; Probenhalter zur sequenziellen Mehrfachpräparation mit einer Gerätebeladung; Masken zur Probenpräparation Neben den notwendigen Grundfunktionalitäten (auch Kühlen, Vakuumtransfer) spielten bei der Entscheidungsfindung vor allem die erreichbare Probengüte, die Mindestgröße von 30mm von Präparationsflächen sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht sowie maximale Größen einsetzbarer Proben entscheidende Rollen.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
6. Ergebnisse
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Der Auftrag ist gem. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) ii) RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VGV) im Verhandlungsverfahren ohne vorherige Bekanntmachung zu vergeben, da der Auftragnehmer alleiniger Lieferant der vertragsgegenständlichen Leistungen ist. Nur aufgrund dieser Alleinstellung kann die Universität Siegen objektiv die speziellen wissenschaftlichen Forschungsarbeiten anforderungsgerecht ausführen – mithin wurde keine künstliche Einschränkung der Auftragsvergabeparameter vorgenommen und es gibt keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung i.S.v. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) Satz 2 RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 6 VGV). Notwendige technisches Anforderungen: - ***Argon-Ionenätzanlage mit Kryo-Kühlfunktion und Vakuumtransfersystem für die Querschnitt-/Aufsichtpräparation verschiedenster REM-Proben - ***eine Hochleistungs-Ar-Ionenkanone mit hoher Abtragsrate (Si-Abtragsrate >= 1000 µm/h) und breitem Primärenergiebereich von mindestens 500 eV – 8 keV - vollständige Ausrüstung für den fernüberwachten Remotebetrieb zur Prüfung des Ätzfortschritts sowie zur Kontrolle des Ätzprozesses (von anderen Standorten aus) (beinhaltet nicht nur Softwaresteuerung, sondern auch Mikroskop/Kamera zur Probenbewertung) - die Mindestgröße von 30mm von Breite des Präparationsfeldes bei Einzelproben (Bauelemente, additiv gefertigte Bauteile) - ***minimale Oberflächenartefakte wie Curtaining durch qualifizierte Orientierungsmodulation der Probe während des Ätzvorgangs - ***mind. 5 Proben bei sequenzieller Mehrfachpräparation von Probenserien mit einer Gerätebeladung (Einsparung von Personalaufwand) - ***Notwendiges Zubehör wie Probenhalter zur Aufnahme von möglichst großen Probenblöcken (großen zu präparierenden Stirnflächen) und Folien für die Querschnittspräparation sowie von eingebetteten REM-Proben von bis zu 2“ Durchmesser; Probenhalter zur Präparation unter kryogenen Bedingungen; Probenhalter zur sequenziellen Mehrfachpräparation mit einer Gerätebeladung; Masken zur Probenpräparation Neben den notwendigen Grundfunktionalitäten (auch Kühlen, Vakuumtransfer) spielten bei der Entscheidungsfindung vor allem die erreichbare Probengüte, die Mindestgröße von 30mm von Präparationsflächen sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht sowie maximale Größen einsetzbarer Proben entscheidende Rollen.
8. Organisationen
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE:154854171
Postanschrift: Universität Siegen
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Telefon: +4902717404869
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Registrierungsnummer: 05515-03004-07
Stadt: Münster
Postleitzahl: 48128
Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)
Land: Deutschland
Telefon: +49 251411-1691
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Hitachi High-Tech Europe GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE 121640503
Stadt: Krefeld
Postleitzahl: 47807
Land, Gliederung (NUTS): Krefeld, Kreisfreie Stadt (DEA14)
Land: Deutschland
Telefon: +49-2151-643-50
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Leiter der anbietenden Partei
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: a831dc8f-d553-4f0f-ac48-9faa916775e2 - 01
Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe
Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Unterart der Bekanntmachung: 25
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 02/07/2024 00:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 396256-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 128/2024
Datum der Veröffentlichung: 03/07/2024