1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Thermo reflectance microscope (IMWS-01.1) - PR924106-2690-P
Beschreibung: Thermo reflectance microscope (IMWS-01.1)
Kennung des Verfahrens: b5903c6f-3447-493b-95bf-9529d9b69731
Interne Kennung: PR924106-2690-P
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38634000 Optische Mikroskope
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Halle
Postleitzahl: 06120
Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Thermo reflectance microscope (IMWS-01.1) - PR924106-2690-P
Beschreibung: 1 Stück Thermo reflectance microscope (IMWS-01.1) In diesem Zusammenhang stellt die Thermoreflexionsmikroskopie eine leistungsstarke Technik dar, da die Anwendung von Prüfwellenlängen im optischen Band zur Analyse von temperaturbedingten Reflexionsänderungen auf der Probenoberfläche eingesetzt wird. Darüber hinaus ermöglichen transiente laserbasierte Thermoreflexionsmessungen die Erkennung und Analyse der Wärmeausbreitung mit hoher Auflösung in Kombination mit der Möglichkeit, die thermischen Materialeigenschaften der beteiligten Materialien in Bulk-Materialien, vor allem aber in dünnen Schichten, lokal aufgelöst zu bestimmen. Mit der Fähigkeit, thermische Eigenschaften quantitativ abzuschätzen, wird das Fraunhofer IMWS in den Bereichen der Materialklassifizierung für Technologieentwicklungen und der präzisen und hochauflösenden Fehleranalyse zur Aufdeckung der defekterzeugenden Ursache beitragen. Um den Anforderungen gerecht zu werden, ist die Anschaffung eines Thermoreflexionsmesssystems geplant. Dieses fortschrittliche System wird modernste Time-Domain-Thermo-Reflectance-Messungen in einem Mehrfarben- oder Heterodyn-Messverfahren ermöglichen. Es wird außerdem eine präzise und quantitative Schätzung der thermischen Materialeigenschaften von Bulk- und Dünnschichtmaterialien sowie die Analyse der Wärmeausbreitung und der Temperaturmessungen ermöglichen. Diese Technologieerweiterung wird entscheidend dazu beitragen, die wachsende Nachfrage nach fortschrittlicher Fehleranalyse zu befriedigen und Innovationen in der Halbleiterfertigung und bei Gehäuselösungen zu unterstützen. Optionen: 1.1.4. Allgemeine Gerätespezifikationen: Das System sollte die folgenden thermischen Charakterisierungstechniken umfassen: - Die Software muss die quantitative Extraktion lokaler thermischer Eigenschaften (z. B. Wärmeleitfähigkeit, Diffusionskoeffizient, Grenzflächenwiderstand) aus gemessenen Transienten ermöglichen. 1.1.5. Allgemeine Gerätespezifikationen: Das System sollte die folgenden thermischen Charakterisierungstechniken umfassen: - Absolute Temperaturmessungen und Analyse der transienten Wärmeausbreitung möglich. 1.2.5. Mikroskopkonfiguration und -tische: Das Instrument sollte eine vibrationsisolierte Plattform umfassen oder auf einer solchen montiert sein, die für hochpräzise mikroskopische Messungen geeignet ist. 1.3.3. Optische Pfade und Messung: Pump- und Sondenstrahlen sollten so angeordnet sein, dass der Sondenstrahl relativ zum Pumpstrahl verschoben werden kann, um eine laterale Wärmeausbreitungsanalyse zu ermöglichen. 1.4.1. Betriebs- und Scanmodi "Temperaturmessungen": Das Gerät sollte Temperaturmessungen in einem breiten Bereich ermöglichen. Es sollte daher über einen temperierbaren Probenhalter zur Aufzeichnung von Kalibrierkurven verfügen, die eine Beziehung zwischen Reflektivität und Probenoberflächentemperatur ermöglichen. Temperaturmessungen sollten mit und ohne Auftragen einer bekannten Beschichtung (Al, Mo, Pt usw.) möglich sein. 1.4.3 Betriebs- und Scanmodi Das Gerät sollte die thermische Charakterisierung von Schichtmaterialien hinsichtlich des Grenzflächenwiderstands/-leitwerts ermöglichen. 1.4.4 Betriebs- und Scanmodi Die zuverlässig inspizierbare Schichtdicke liegt im Bereich von 10 nm bis 10 µm. 1.4.6 Betriebs- und Scanmodi Das Gerät ermöglicht die Charakterisierung thermischer Eigenschaften wie Leitwert und Diffusionskoeffizient der einzelnen Schichtmaterialien einer geschichteten Probe durch Messungen an deren Querschnittsfläche. Die Schichtdicken können bis zu 5 µm betragen. 1.4.11. Betriebs- und Scanmodi: Das Gerät sollte optional für die Rückseitenmessung vorbereitet sein. 1.5.4. Zusätzliche Funktionen: Das System sollte über eine Probenschale mit Dreipunktnivellierung verfügen. Diese Funktion stellt sicher, dass die Proben korrekt ausgerichtet und planar zu den Scanachsen sind. 1.5.7. Zusätzliche Funktionen: Anbieter sollten optional optionales Zubehör oder Funktionen, die die Funktionalität des Thermoreflektanzsystems erweitern, auflisten und Preise dafür angeben. 1.6.4. Software und Anwendungsprogrammierschnittstellen: Optionale Unterstützung für verschiedene Programmierframeworks und -umgebungen ist willkommen. Bitte geben Sie den angebotenen zusätzlichen Support an. 1.10.1. Sonstige Spezifikationen: Eine erste Benutzerschulung zur Durchführung der quantitativen und qualitativen Messungen sowie zur Extraktion von thermischen Eigenschaften, Temperatur und Wärmeausbreitung. 1.10.2. Sonstige Spezifikationen: Benutzersupport per Fernkommunikation für 12 Monate nach Inbetriebnahme des Geräts.
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38634000 Optische Mikroskope
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 01/09/2025
Enddatum der Laufzeit: 30/09/2025
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Ausführung
Beschreibung: Technische Ausführung
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 65
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 35
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde kein Wettbewerbsgewinner ermittelt, und der Wettbewerb ist abgeschlossen.
Grund, warum kein Gewinner ausgewählt wurde: Es sind keine Angebote, Teilnahmeanträge oder Projekte eingegangen
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
Telefon: +49891205-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Stadt: München
Postleitzahl: 80686
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Telefon: +49 89 1205-0
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: cf3ddd47-295b-483b-a9a8-d1f7477160fa - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 23/06/2025 17:10:02 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 409624-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 119/2025
Datum der Veröffentlichung: 25/06/2025