411995-2021 - ErgebnisDeutschland-Cottbus: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
OJ S 156/2021 13/08/2021
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: BTU Cottbus-Senftenberg
Postanschrift: Platz der Deutschen Einheit 1
Ort: Cottbus
NUTS-Code: DE402 Cottbus, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 03046
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): VB 2.3 Beschaffung
E-Mail: jens.semmler@b-tu.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.b-tu.de
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Lieferung Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Referenznummer der Bekanntmachung: F41_000405
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt "Vergabeunterlagen".
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7.
Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 384 680,00 EUR
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DE40B Oberspreewald-Lausitz
Hauptort der Ausführung: BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt "Vergabeunterlagen".
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Technisch-inhaltliche Anforderungen / Gewichtung: 60
Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 10
Preis - Gewichtung: 30
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:
Gemäß Leistungsbeschreibung (Punkt 2.6. Optionen) unter dem Punkt "Vergabeunterlagen"
2.6.1 Videobasiertes Auto-Alignment
2.6.2 Testmaske
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben
Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert.

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 066-170696
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 21-1504-158-0227
Bezeichnung des Auftrags:
Mask Aligner - MABA6 Gen4
Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2.
Auftragsvergabe
V.2.1.
Tag des Vertragsabschlusses
26/06/2021
V.2.2.
Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 2
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3.
Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: SUSS MicroTec Lithography GmbH
Postanschrift: Schleissheimer Str. 90
Ort: Garching
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland
E-Mail: info@suss.com
Telefon: +49 8932007-0
Fax: +49 8932007-162
Internet-Adresse: http://www.suss.com
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4.
Angaben zum Wert des Auftrags/Loses
Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 450 000,00 EUR
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 384 680,00 EUR
V.2.5.
Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter "Vergabeunterlagen".
Vorsorglich wird insbesondere auf Punkt 1, Nr. 1 der VOL/B mit dem Hinweis verwiesen, dass anderslautende Geschäfts-, Liefer-, oder Zahlungsbedingungen des Auftragnehmers nicht Bestandteil des Vertrages werden.
Bekanntmachungs-ID: CXP9YY0RFGX
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 3318661-610
Fax: +49 3318661-652
Internet-Adresse: https://mwae.brandenburg.de/de/vergabekammer-nachpr%c3%bcfungsverfahren/bb1.c.478846.de
VI.4.3.
Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen.
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
09/08/2021