Nassätztool Platin-Ätzung

Allgemeine Information:

— Zur Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie muss ein Plan für die Ersatzteilbeschaffung für die darauf folgenden 3 Jahre ausgestellt werden,

— Die Anlage wir ein einem Reinraum Klasse ISO 3-5 aufgestellt.

Die Anlage muss folgende Anforderungen erfüllen:

— Maximale Größe (b x l x h): 1.00 m x 1.65 m x 2.50 m,

— Bearbeitung von 8" Si-Substraten im Batch (1x25),

— Anlage muss „State-of-the-art“ sein,

— Kompatibel mit Carrier des Typs Entegris A192 – 81M (low profile PFA-Carrier),

— Ein Prozessbecken das kompatibel mit Königswasser (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3) ist und auf mindestens 90 GradC geheizt werden kann,

— Möglichkeit, das Königswasser bis zu einem Verhältnis 1:1 mit DIW zu verdünnen (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3 und 8 Volumenteile DIW),

— Optional: Carrier kann im Prozessbecken bewegt werden (Agitation),

— Ein DIW-Spülbecken,

— Möglichkeit, HCl und/o

Allgemeine Information:

— Zur Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie muss ein Plan für die Ersatzteilbeschaffung für die darauf folgenden 3 Jahre ausgestellt werden,

— Die Anlage wir ein einem Reinraum Klasse ISO 3-5 aufgestellt.

Die Anlage muss folgende Anforderungen erfüllen:

— Maximale Größe (b x l x h): 1,00 m x 1.65 m x 2,50 m,

— Bearbeitung von 8" Si-Substraten im Batch (1x25),

— Anlage muss „State-of-the-art“ sein,

— Kompatibel mit Carrier des Typs Entegris A192 – 81M (low profile PFA-Carrier),

— Ein Prozessbecken das kompatibel mit Königswasser (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3) ist und auf mindestens 90 GradC geheizt werden kann,

— Möglichkeit, das Königswasser bis zu einem Verhältnis 1:1 mit DIW zu verdünnen (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3 und 8 Volumenteile DIW),

— Optional: Carrier kann im Prozessbecken bewegt werden (Agitation),

— Ein DIW-Spülbecken,

— Möglichkeit, HCl und/oder HNO3 vor und während des Prozesses an bestimmten Zeiten zu spiken,

— Manuelle Be- und Entladung, automatischer Transfer des Carriers zwischen Prozess- und Spülbecken,

— Befüllen des Prozesstanks mit erfolgt aus der Zentralversorgung,

— Entsorgung der Prozesschemikalien aus dem Prozessbecken erfolgt in eine Zentralentsorgung,

— Umwälzfiltration für Prozessbecken: Pumpe und 0.1 ?m Filter (Typ: Pall ABF1UFT3EH1K3),

— Wartungsarbeiten sind ausschließlich von der Anlagenvorderseite und Anlagenrückseite möglich, kein Zugriff von der Anlagenseite möglich,

— Alle Bedienelemente müssen sich an der Anlagenvorderseite befinden,

— Ergonomische Bedienungsoberfläche (frei positionierbarer Bildschirm),

— Signalleuchten an der Anlagenvorderseite (mind. Rot, Gelb, Grün),

— Elektrische Anschlüsse: 230/400VAC 50Hz TN-S Netz (N/PE getrennt),

— EG-Maschinenrichtlinie in der aktuellen Fassung muss erfüllt werden,

— 2014/30/EU EMV ist erfüllt,

— Ablage muss CE zertifiziert sein,

Software:

— Verfügbar in deutscher Sprache,

— Mehrere passwortgeschützte Benutzerlevel,

— Mehrere Rezepte können gespeichert werden,

— Individuelle Rezepte können erstellt werden, mit größtmöglicher Flexibilität der Prozessparameter,

— Protokollierung von Benutzeraktivitäten, Prozessen und Fehlermeldungen,

Zusätzliche Anforderungen:

— 12 Monate Garantie,

— Anlagentraining für Operator/Maintenance/Prozessingenieure,

— Handbücher in Deutsch, verfügbar digital sowie ausgedruckt auf Reinraumpapier,

— Ersatzteilkit (bitte spezifizieren),

— Lieferung nach Incoterm 2010 DDP, DPU oder DAP,

— Bei Lieferungen außerhalb der EU ist der Lieferant auch der Importeur,

— Medienanschlüsse sind in einem technischen Klärungsgespräch zu definieren.