Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: Research Society e. V.
I.5.
Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Research and Development
Abschnitt II: Gegenstand
II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
Wafersaw - PR360290-2480-W k
Referenznummer der Bekanntmachung: PR360290-2480-W k
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
II.1.3.
Art des Auftrags Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Wafersaw
II.1.6.
Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2.
Beschreibung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:
IPMS
Maria-Reiche-Straße 2
1109 Dresden
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
1 pc of Wafersaw with options: 2.1.12. The tool is equipped with a resize options to reduce Wafers from Ø300mm to Ø150mm with Semi Flat. 2.1.13. The tool is equipped with a resize options to reduce Wafers from Ø200mm to Ø150mm with Semi Flat. 2.1.14. The tool is equipped with a resize options to reduce Wafers from Ø300mm to individual diameters ≥Ø130mm. 2.2.1 Automated blade changing unit BP 2.2.2. Water cleaning/filtering/loop system to reduce water consumption 2.2.3. Implemention of dresser board with measurement of the blade shape for e.g. trapeze shaped blades 2.2.4. The tool provides loading station for 300mm wafer FOUP cassette (SEMI standard) 2.2.5. The tool is equipped with backside alignment. 2.9.1. A complete listing with quotes for all necessary auxiliary equipment to operate the tool 2.9.2. Set of consumable parts (lamps, o-rings, valves, etc.) to cover the warranty period 2.9.3. Signal light tower 2.9.4. Accoustic alarm signals (e.g. process finished) 2.10.12 As an option, the tool has to be controllable with SECS-GEM commands. Alternatively, a proprietary but completely documented communication interface has to be provided.
Qualitätskriterium - Name: Delivery Time / Gewichtung: 10,00
Preis - Gewichtung: 35,00
II.2.11.
Angaben zu Optionen Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:
2.1.12. The tool is equipped with a resize options to reduce Wafers from Ø300mm to Ø150mm with Semi Flat. 2.1.13. The tool is equipped with a resize options to reduce Wafers from Ø200mm to Ø150mm with Semi Flat. 2.1.14. The tool is equipped with a resize options to reduce Wafers from Ø300mm to individual diameters ≥Ø130mm. 2.2.1 Automated blade changing unit BP 2.2.2. Water cleaning/filtering/loop system to reduce water consumption 2.2.3. Implemention of dresser board with measurement of the blade shape for e.g. trapeze shaped blades 2.2.4. The tool provides loading station for 300mm wafer FOUP cassette (SEMI standard) 2.2.5. The tool is equipped with backside alignment. 2.9.1. A complete listing with quotes for all necessary auxiliary equipment to operate the tool 2.9.2. Set of consumable parts (lamps, o-rings, valves, etc.) to cover the warranty period 2.9.3. Signal light tower 2.9.4. Accoustic alarm signals (e.g. process finished) 2.10.12 As an option, the tool has to be controllable with SECS-GEM commands. Alternatively, a proprietary but completely documented communication interface has to be provided.
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart Offenes Verfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 097-302980
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein
V.1.
Information über die Nichtvergabe
Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.3.
Zusätzliche Angaben
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
VI.4.4.
Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.