458627-2026 - Wettbewerb
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Laserlithographie
OJ S 126/2026 03/07/2026
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
E-Mail: evergabe@dlr.de
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Laserlithographie
Beschreibung: Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Kennung des Verfahrens: 960e1da6-4065-47b3-8c8a-815e583e2cdc
Interne Kennung: ELVIS-ID E67746541
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Albert-Einstein-Allee 45  
Stadt: Ulm
Postleitzahl: 89081
Land, Gliederung (NUTS): Ulm, Stadtkreis (DE144)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Ausschlussgründe wegen der Nähe zu Russland: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022.
Rechtsgrundlage: 
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Zahlungsunfähigkeit: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Betrug: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Korruption: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Laserlithographie
Beschreibung: Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Interne Kennung: LOT-0001 422/2026/9460875
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Albert-Einstein-Allee 45  
Stadt: Ulm
Postleitzahl: 89081
Land, Gliederung (NUTS): Ulm, Stadtkreis (DE144)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: 
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung des Eignungskriteriums: Nachweis über die Eintragung ins Handelsregister: Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des Fristendes nicht älter als drei Monate sein) oder ein vergleichbares Dokument. Ausländische Bieter können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender Unterlagen gemäß den lokalen Bestimmungen nachweisen.

Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung des Eignungskriteriums: Bieter müssen eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme je Schadensereignis in Höhe von mindestens 1.000.000€ für Personenschäden und 1.000.000€ für Sach- und Vermögensschäden nachweisen. Der Nachweis wird erbracht durch Eigenerklärung im Eignungsformblatt sowie die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder einer schriftlichen Erklärung des Versicherers, dass er im Auftragsfall bereit ist, eine Versicherung entsprechend der Bekanntmachung abzuschließen. Der Nachweis bzw. die Erklärung darf nicht älter als 12 Monate sein. Bietergemeinschaften müssen einen entsprechenden Nachweis bzw. eine Erklärung für die Bietergemeinschaft oder für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorlegen.

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Sprache, in der die Angebote und Eignungsunterlagen verfasst sein müssen. Das Angebot muss in all seinen Bestandteilen in deutscher/englischer Sprache abgefasst sein.

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Firmenprofil/Vorstellung des Unternehmens Der Bieter hat ein Firmenprofil mit folgenden Angaben den Angebotsunterlagen beizufügen: • Datum der Unternehmensgründung • Standorte des Unternehmens • Rechtsform des Unternehmens • Registergericht und Registernummer • Umsatzsteuer Identifikationsnummer (USt-ID) • Identifikationsnummer (Leitweg-ID) • Einstufung als KMU • Einstufung als Start-UP • Börsennotiert • Staatsangehörigkeit des wirtschaftlichen Eigentümers des Unternehmens • Beschreibung des Kerngeschäftes

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung „BMWK-Russland“: Die VO 2024/1865 erweitert die VO 833/2014, in der eine Wiederausfuhr nach Russland und die Wiederausfuhr zur Verwendung in Russland untersagt wird, auch auf Belarus. Der Bieter erklärt mit der Eigenerklärung gemäß Art. 5k der VO 833/2014, dass sich seine Geschäftstätigkeiten ebenfalls nicht auf Belarus erstrecken.

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen)

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung MiLoG (Mindestlohngesetz)

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Eigenerklärung ILO (Internationale Arbeitsorganisation)

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Erklärung einer Bietergemeinschaft.

Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Eignungskriteriums: Verpflichtungserklärung eines Unterauftraggebers.
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium: 
Art: Preis
Beschreibung: Preis 50%
Kriterium: 
Art: Qualität
Beschreibung: Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.subreport.de/E65163488
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung: 
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.subreport.de/E65163488
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 03/08/2026 10:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 46 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: 
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: 
Eröffnungstermin: 03/08/2026 10:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Auftragsbedingungen: 
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: 
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: 
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohnsitz der gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung in der Bundesrepublik Deutschland hat einen Empfangsbevollmächtigten in der Bundesrepublik Deutschland zu benennen. Die Begründung muss die Bezeichnung des Antragsgegners, eine Beschreibung der behaupteten Rechtsverletzung mit Sachverhaltsdarstellung und die Bezeichnung der verfügbaren Beweismittel enthalten sowie darlegen, dass die Rüge gegenüber dem Auftraggeber erfolgt ist; sie soll, soweit bekannt, die sonstigen Beteiligten nennen. Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn • der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße, die in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, • nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach §134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Organisation, die Angebote bearbeitet: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Registrierungsnummer: Leitweg-ID 992-03005-81
Abteilung: Einkauf
Postanschrift: Linder Höhe
Stadt: Köln
Postleitzahl: 51147
Land, Gliederung (NUTS): Köln, Kreisfreie Stadt (DEA23)
Land: Deutschland
E-Mail: evergabe@dlr.de
Telefon: 0 00
Internetadresse: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html
Rollen dieser Organisation: 
Beschaffer
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
Organisation, die Angebote bearbeitet
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Abteilung: Vergabekammer
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +492289499578
Fax: +492289499163
Internetadresse: https://bundeskartellamt.de
Rollen dieser Organisation: 
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation: 
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 74b4b6a8-765f-46d2-a0b3-07344fa28025  -  01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 01/07/2026 13:08:10 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 458627-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 126/2026
Datum der Veröffentlichung: 03/07/2026