Beschreibung der Beschaffung
Folgende Anforderungen sind zu erfüllen:
Umbau von 6 Gasbereitstellungsplätzen, Neubau von 3 Gasbereitstellungsplätzen, Umbau SiH4 auf pneumatisch betätigtes Flaschenventil, Installation einer Entnahmestation für Kohlenstoffmonoxid (20 bar) – temporäre Entnahme,
Versatz von zwei Entnahmestationen für CH4 und H2 in ein abgesaugtes Gehäuse, Installation einer Übergabestation für Hochdruck CO, CO2, H2 und N2, Hook-Up Clustertool, Installation von 2 zusätzlichen Bedienpanels im Reinraum (Raum 0013),
24 Monate Gewährleistung, Dokumentation, Transport, Anlieferung, Montage, Justierung, Inbetriebnahme und Schulung von mindestens 2 Nutzern