Laserlithographieanlage QCI-HH

Beschaffung einer Laserlithographieanlage zur Ausstattung des Innovationszentrums Hamburg des DLR im Rahmen der Quantencomputing-Initiative einschließlich Lieferung, Einbringung in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung sowie anschließendem Service/Wartung.

Hauptort der Ausführung: DLR-Standort Innovationszentrum Hamburg (in Planung/Aufbau)

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft.

Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist insofern die Beschaffung einer Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum (Laserlithographieanlage). Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Teil der Prozesskette ist eine Belichtungstechnologie, bei der mittels Laser Fotolacke auf Substraten direkt belichtet werden. Diese Laserlithographie ermöglicht somit zum einen die maskenfreie Belichtung von Halbleitersubstraten für die Strukturierung, zum anderen die Herstellung von Masken für die Verwendung in einem maskenbasierten Belichtungsverfahren. Die Laserlithographieanlage soll daher sowohl für Halbleitersubstrate bis 150 mm Durchmesser als auch für klassische Borosilikat Chrommasken bis 175 mm x 175 mm verwendet werden und eine schnelle, hochpräzise Strukturierung von Fotolacken ermöglichen.

Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.

Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und eine Schulung. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.

Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Preis - Gewichtung: 50%

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 2

Zusätzlich zu den unter Ziff. III.1.1) bis III.1.3) der vorliegenden Bekanntmachung aufgelisteten Eignungsnachweisen ist mit dem Angebot von jedem Bieter durch Abgabe einer Eigenerklärung das Nichtvorliegen zwingender und fakultativer Ausschlussgründe gemäß §§ 123, 124 GWB nachzuweisen. Hierzu ist das entsprechende Formblatt des Auftraggebers zu verwenden.

Bei einer Bietergemeinschaft ist die Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorzulegen. Soweit sich der Bieter bzw. die Bietergemeinschaft zur Herstellung seiner/ihrer wirtschaftlichen und finanziellen oder technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit ganz oder teilweise auf die Kapazitäten eines anderen Unternehmens beruft (Eignungsleihe), ist die Erklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen auch von diesen Unternehmen vorzulegen.

Darüber hinaus ist bei der Einschaltung von anderen Unternehmen zur Herstellung der Eignung zu beachten, dass der Bieter nach § 47 Abs. 1 S. 1 VgV nachweisen muss, dass ihm die erforderlichen Mittel bei der Erfüllung des Auftrags zur Verfügung stehen. Dieser Nachweis ist – ungeachtet der bestehenden rechtlichen Verbindungen zum Bieter – durch eine entsprechende Verpflichtungserklärung des anderen Unternehmens zu führen.

Das Angebot sowie sämtliche hiermit einzureichenden Nachweise und Erklärungen sind in deutscher Sprache einzureichen. Bei fremdsprachigen Bescheinigungen ist eine Übersetzung in deutscher Sprache beizufügen. Der Auftraggeber behält sich vor, sich Eigenerklärungen des Bieters durch entsprechende Bescheinigungen der zuständigen Stellen bestätigen zu lassen.

Alternativ zu den geforderten Eigenerklärungen akzeptiert der Auftraggeber auch die Vorlage einer – mit den entsprechenden Angaben ausgefüllten – Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung (EEE) oder eines Präqualifizierungszertifikates.

Für das Angebot sind – soweit vorgesehen – die den Vergabeunterlagen beigefügten Formblätter des Auftraggebers zu verwenden, welche über den in Ziff. I.3) der vorliegenden Bekanntmachung benannten Link gebührenfrei selbst abgerufen werden können.

Alle angeforderten Nachweise und Erklärungen sind Teil des Angebotes und mit dem Angebot vorzulegen. Sollten mit einem Angebot Nachweise oder Erklärungen bis zum Ablauf der Angebotsfrist nicht oder nicht vollständig vorgelegt worden sein, behält sich der Auftraggeber die Nachforderung der fehlenden Erklärungen und Nachweise unter Setzung einer angemessenen, nach dem Kalender bestimmten Frist vor. Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen, die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist ausgeschlossen. Preisangaben können nur nachgefordert werden, wenn es sich um unwesentliche Einzelpositionen handelt, deren Einzelpreise den Gesamtpreis nicht verändern oder die Wertungsreihenfolge und den Wettbewerb nicht beeinträchtigen (§ 56 Abs. 3 VgV). Werden die fehlenden Nachweise und Erklärungen nicht innerhalb der Nachforderungsfrist eingereicht, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 57 Abs. 1 Nr. 2 VgV). Die Frist zur Nachreichung beginnt am Tage nach Absendung der Nachforderung.

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: