481717-2022 - ErgebnisDeutschland-Stuttgart: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
OJ S 170/2022 05/09/2022
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Lieferungen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1.
Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Postanschrift: Allmandring 30a
Ort: Stuttgart
NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis
Postleitzahl: 70569
Land: Deutschland
E-Mail: ims-chips-cd-sem@menoldbezler.de
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ims-chips.de
I.4.
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Stiftung bürgerlichen Rechts
I.5.
Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1.
Umfang der Beschaffung
II.1.1.
Bezeichnung des Auftrags
IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen
Referenznummer der Bekanntmachung: 2022/505
II.1.2.
CPV-Code Hauptteil
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
II.1.3.
Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4.
Kurze Beschreibung
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektro-nenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Di-mension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.
II.1.6.
Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7.
Gesamtwert der Beschaffung
Wert ohne MwSt.: 1,00 EUR
II.2.
Beschreibung
II.2.2.
Weitere(r) CPV-Code(s)
31000000 Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung
II.2.3.
Erfüllungsort
NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis
Hauptort der Ausführung: IMS Chips Allmandring 30a 70569 Stuttgart
II.2.4.
Beschreibung der Beschaffung
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereit-stellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie.
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Dimension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.
Die Anlieferung der Anlage an das Institut für Mikroelektronik Stuttgart muss bis spätestens 30.06.2023 erfolgen.
Für den Erwerb der verfahrensgegenständlichen Rasterelektronenmikroskops erhält das IMS EFRE-Fördermittel.
Die Anforderungen an das zu beschaffenden Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 2).
Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf der Verträge, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.
II.2.5.
Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Qualitätskriterien / Gewichtung: 400
Qualitätskriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 100
Preis - Gewichtung: 500
II.2.11.
Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14.
Zusätzliche Angaben
Für den Erwerb der verfahrensgegenständlichen Rasterelektronenmikroskops erhält das IMS EFRE-Fördermittel.

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1.
Beschreibung
IV.1.1.
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren
IV.1.3.
Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8.
Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2.
Verwaltungsangaben
IV.2.1.
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 048-124069
IV.2.8.
Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9.
Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2.
Auftragsvergabe
V.2.1.
Tag des Vertragsabschlusses
18/07/2022
V.2.2.
Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 2
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3.
Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Hitachi High-Tech Europe GmbH
Postanschrift: Europark Fichtenhain A12
Ort: Krefeld
NUTS-Code: DEA14 Krefeld, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 47807
Land: Deutschland
Telefon: +49 1702074207
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4.
Angaben zum Wert des Auftrags/Loses
Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 1,00 EUR
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 1,00 EUR
V.2.5.
Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3.
Zusätzliche Angaben
Bei den Angaben unter den Ziffern II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte eingetragen.
Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZ6DA3
VI.4.
Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1.
Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Ort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland
Fax: +49 721926-3985
Internet-Adresse: www.rp.baden-wuerttemberg.de
VI.4.3.
Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB).
Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet:
(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.
(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.
(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit
1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat;
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist.
Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Fax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.
VI.5.
Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
31/08/2022