Beschreibung der Beschaffung
Es soll eine 3D-Druckanlage basierend auf der Zwei-Photonen-Polymerisation (maskenlose Lithographie) beschafft werden, womit insbesondere optisch funktionale Mikrokomponenten mit Strukturgrößen unterhalb des Beugungslimits gefertigt werden sollen. Die 2PP-Anlage soll durch Kombination von Galvo- mit Piezotechnologie hohe Schreibgeschwindigkeiten für eine wirtschaftliche Produktion ermöglichen. Neben dem klassischen 3D-Druck im Schicht-zu-Schicht-Verfahren sollen auch echte, beliebige 3D-Trajektorien gefahren werden können. Dabei soll durch geeignete Verfahren eine hohe vertikale Druckauflösung auch in zunehmender Schreibtiefe gewährleistet sein. Hierbei soll insbesondere auf eine Verfahren zurückgegriffen werden, bei dem das transparente Photopolymer gleichzeitig als Imersionssystem zum Einsatz kommt. Es sollen auch Strukturen 3D-gedruckt werden können, deren laterale Dimensionen größer sind als das Schreibfeld. Hierfür muss ein geeignetes Stitching-Verfahren vorhanden sein, um höchste optische Qualität und Funktionalität zu erzielen. Abschattungseffekte des Laserstrahls an den einhüllenden Grenzflächen der Teilstrukturen müssen daher vermieden werden. Der Lieferumfang umfasst ein Komplettsystem bestehend aus der nötigen Hardware und Software, wodurch eine einfache Bedienung im automatisierten Betrieb möglich ist. Dazu zählt ein automatisiertes Verfahren zur Detektion der Grenzflächenposition zwischen Substrat und Photopolymer.
Anforderungen
Technische Anforderungen
Drucktechnologie: Zwei-Photonen-Polymerisation
Minimale Strukturbreite (lateral): < 200 nm (typ. < 160 nm)
Strukturauflösung (lateral): < 500 nm (typ. < 400 nm)
Strukturauflösung (vertikal): < 1.500 nm (typ. < 1.000 nm)
Bauraumgröße: mind. 100 x 100 x 8 mm
Scangeschwindigkeit (Galvo): > 100 mm/s
Schichtabstand: variabel
Photopolymere: variabel
Eingabe-/Steuerungsgeräte: Computer
Bedienoberfläche zur Steuerung und Ausführung von automatisierten Druckaufträgen
Verarbeitung von 3D-Konstruktionsdateien (STL-Format)
Automatisiertes Verfahren zur Detektion von Grenzfläche Substrat-Photopolymer
Möglichkeit zur steuerungstechnischen Programmierung über Schnittstelle für z.B. automatisierte Markererkennung
Prozessüberwachung basierend auf Mikroskopie-Kamerasystem
Allgemein
Das Angebot muss ein funktionsfähiges Gesamtsystem anbieten und alle Punkte dieser Leistungsbeschreibung erfüllen.
Sollten Komponenten die für die Funktion des Achssystems nötig sind in dieser Leistungsbeschreibung nicht aufgeführt sein, so sind diese im Angebot aufzunehmen.
Test und Inbetriebnahme soll durch den Lieferanten erfolgen
Lieferumfang
Steuerungsrechner
Schwingungsgedämpfter Tisch (oder Gehäuse) für die 2PP-Anlage
2PP-Gesamtsystem (fs-Lasersystem, Multiskalige Positioniereinheit, Kamerasystem, Steuerungstechnik der Positioniereinheit, Optiken für höchste Druckauflösung)
Zur Spannungsversorgung benötigte Netzteile
Software und Lizenzen
Aufbau, Test und Inbetriebnahme