1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Paul Scherrer Institut (PSI)
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF) für Oxidation und LPCVD im PSI PICO Reinraum
Beschreibung: Bei der zu beschaffende Anlage handelt es sich um einen Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF), der für die Abscheidung von Materialien für Quanten-, Photonik- und Röntgenanwendungen der Gruppen in den Laboren LNQ und LXN sowie für alle Nutzer der PSI-Reinräume unerlässlich ist. Der MTPF sollte über eine horizontale Anordnung der Röhren verfügen und in der Lage sein, in einem Durchlauf bis zu 50 Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm mit guter Gleichmäßigkeit innerhalb eines Wafers, von Wafer zu Wafer und von Charge zu Charge zu bearbeiten. Die MTPF sollte über eine Automatisierungsoption verfügen, die es ermöglicht, mindestens 4 Wafer-Chargen à 50 Wafer in denselben oder verschiedenen Röhren nacheinander ohne Anwesenheit eines Bedieners zu bearbeiten. Das MTPF wird mit vier 200-mm-kompatiblen Röhren geliefert: – Röhre 1: thermische Trocken- und Nassoxidation unter atmosphärischen Bedingungen (Quarzröhre bis 1050 °C; optional SiC-Röhre bis 1250 °C); – Röhre 2: LPCVD-Schichten aus stöchiometrischem Si3N4 für photonische Anwendungen und nierdig-verspannten SiNx-Schichten für die Membranenherstellung; – Röhre 3: LPCVD-Schichten aus SiO2 auf TEOS-Basis; – Röhre 4: LPCVD-Schichten aus polykristallinem und amorphem Si. Die MTPF ist durch die Wand hindurch zu installieren, wobei sich die Beladestation auf der Reinraumseite und die übrigen Komponenten (Öfen, Elektronikschränke, Gasschränke, Pumpen und zugehörige Infrastruktur) auf der Grauraumseite befinden. Sie muss für den 24/7-Betrieb ausgelegt sein, mit einer garantierten Verfügbarkeit von mindestens 90 % und einer Mindestgarantie von 2 Jahren.
Kennung des Verfahrens: d74d9614-7dfe-4e07-a231-9f9897b42fc7
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Villigen PSI
Postleitzahl: 5232
Land, Gliederung (NUTS): Aargau (CH033)
Land: Schweiz
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Sonstige Anforderungen Der Anbieter muss die Akzeptanz der Geschäftsbedingungen und der grundsätzlichen Anforderungen schriftlich bestätigen. Die Auftraggeberin vergibt diesen Auftrag nur an Anbieter, welche die in den Ausschreibungsunterlagen und der Gesetzgebung festgelegten Teilnahmebedingungen einhalten. Dies betrifft insbesondere die Einhaltung der Arbeitsschutzbestimmungen, der Arbeitsbedingungen, der Lohngleichheit, des Umweltrechts und das wettbewerbskonforme und korruptionsfreie Verhalten.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF) für Oxidation und LPCVD im PSI PICO Reinraum
Beschreibung: Bei der zu beschaffende Anlage handelt es sich um einen Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF), der für die Abscheidung von Materialien für Quanten-, Photonik- und Röntgenanwendungen der Gruppen in den Laboren LNQ und LXN sowie für alle Nutzer der PSI-Reinräume unerlässlich ist. Der MTPF sollte über eine horizontale Anordnung der Röhren verfügen und in der Lage sein, in einem Durchlauf bis zu 50 Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm mit guter Gleichmäßigkeit innerhalb eines Wafers, von Wafer zu Wafer und von Charge zu Charge zu bearbeiten. Die MTPF sollte über eine Automatisierungsoption verfügen, die es ermöglicht, mindestens 4 Wafer-Chargen à 50 Wafer in denselben oder verschiedenen Röhren nacheinander ohne Anwesenheit eines Bedieners zu bearbeiten. Das MTPF wird mit vier 200-mm-kompatiblen Röhren geliefert: – Röhre 1: thermische Trocken- und Nassoxidation unter atmosphärischen Bedingungen (Quarzröhre bis 1050 °C; optional SiC-Röhre bis 1250 °C); – Röhre 2: LPCVD-Schichten aus stöchiometrischem Si3N4 für photonische Anwendungen und nierdig-verspannten SiNx-Schichten für die Membranenherstellung; – Röhre 3: LPCVD-Schichten aus SiO2 auf TEOS-Basis; – Röhre 4: LPCVD-Schichten aus polykristallinem und amorphem Si. Die MTPF ist durch die Wand hindurch zu installieren, wobei sich die Beladestation auf der Reinraumseite und die übrigen Komponenten (Öfen, Elektronikschränke, Gasschränke, Pumpen und zugehörige Infrastruktur) auf der Grauraumseite befinden. Sie muss für den 24/7-Betrieb ausgelegt sein, mit einer garantierten Verfügbarkeit von mindestens 90 % und einer Mindestgarantie von 2 Jahren.
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Optionen:
Beschreibung der Optionen: Gemäss Spezifikation PSI-PICO-JK67-001 Rev.2.0 Kapitel 1.5.3
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Villigen PSI
Postleitzahl: 5232
Land, Gliederung (NUTS): Aargau (CH033)
Land: Schweiz
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.4.
Verlängerung
Maximale Verlängerungen: 1
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Noch nicht bekannt
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Auftragsunterlagen
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Zuschlagskriterien
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Die Zuschlagskriterien sind in den Dokumenten definiert.
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
Name: Simap.ch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 21/08/2026 14:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 120 Tage
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Noch nicht bekannt
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Weitere Angaben in der offiziellen Publikation auf simap.ch
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Finanzielle Vereinbarung: Weitere Angaben in der offiziellen Publikation auf simap.ch
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Bundesverwaltungsgericht
Informationen über die Überprüfungsfristen: Rechtsmittelbelehrung Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen. Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Paul Scherrer Institut (PSI)
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Paul Scherrer Institut (PSI)
Registrierungsnummer: cff7d772-b5b2-4cfa-b76b-eccb6c72303a
Postanschrift: Forschungsstrasse 111
Stadt: Villigen PSI
Postleitzahl: 5232
Land, Gliederung (NUTS): Aargau (CH033)
Land: Schweiz
Telefon: +41563102111
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Bundesverwaltungsgericht
Registrierungsnummer: BVGER
Postanschrift: Postfach
Stadt: St. Gallen
Postleitzahl: 9023
Land, Gliederung (NUTS): St. Gallen (CH055)
Land: Schweiz
Telefon: +41584652626
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Simap.ch
Registrierungsnummer: CH001
Postanschrift: Holzikofenweg 36
Stadt: Bern
Postleitzahl: 3003
Land, Gliederung (NUTS): Bern / Berne (CH021)
Land: Schweiz
Telefon: +41584646388
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
10. Änderung
10.1.
Änderung
Abschnittskennung: PROCEDURE
Beschreibung der Änderungen: Bitte beachten Sie die aktualisierten Termine: Spätester Eingangstermin der bearbeiteten Proben: 14.08.2026 Einreichung von Fragen: 14.08.2026 Einreichung des Angebots: 21.08.2026
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 9dac7b98-5f4d-4dcb-a3bc-5be16e0bd2a4 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 15/07/2026 02:26:08 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Englisch, Deutsch, Französisch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 491989-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 135/2026
Datum der Veröffentlichung: 16/07/2026