Technische Alleinstellungsmerkmale:
1. Das System muss über ein 6× 15 cc Multi-Pocket Elektronstrahl Systeme verfügen und zusätzlich über zwei thermische Quellen. Das 15 cc System muss auf 7 cc reduzierbar sein.
2. Das System muss zudem über eine Gridless Ion Beam Source verfügen, um Oberflächen vor der Abscheidung zu behandeln.
3. Das System muss Dual-Crystal QCMs besitzen, um die Abscheidung präzise Messen und kontrollieren zu können.
4. Das System muss über eine wassergekühlte, rotierbare Stage verfügen. Hierbei muss die Höhe der Stage variabel sein, um Wärmeeintrag zu minimieren.
5. Das System muss ein kryogenes Pumsystem besitzen, um Prozessdrücke unter < 9E-8 Torr zu realisieren.